自動車用センサの最新動向
タイトル
★これからの自動車のキーワードである「安全・安心」，「快適」，「環境・エネルギー」を実現するために欠かせないセンサ！
★自動車用センサに求められる高信頼性・小型軽量化・低コスト化などについて，第一線で活躍する研究者たちが詳細に解説！
★自動車用センサの基礎を解説する「基礎編」と，最新の自動車用センサの技術動向を紹介する「応用編」の2部構成！！
自動車用センサの最新動向
書籍概要
| 書籍番号 | bk7103 |
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発刊日
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2009年2月 ISBN 978-4-7813-0097-9 CコードC3054 商品コードT0671
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| 体 裁 | B5判，329ページ |
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価 格
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68,250円（本体65,000円＋税5％）
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| 監 修 | 木股雅章 |
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発 行
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(株)シーエムシー出版
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問い合わせ
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(株)Ｒ＆Ｄ支援センター TEL：03-3599-5811 MAIL：info@rdsc.co.jp
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| 執筆者 | |
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木股雅章 立命館大学 理工学部 マイクロ機械システム工学科 教授 |
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| 刊行にあたって | |
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自動車に使用されているセンサは，エンジン制御，トランスミッション制御，ブレーキ制御，ステアリング制御などに用いられ基本機能を支援するものや，サスペンション制御，ナビゲーション，空調制御など快適な運転のために用いられるもの，衝突防止などの安全寄与するものなど極めて多様であり，自動車用センサの動向を見ることは，センサ技術全体の状況を把握することに近い意味を持っている。 木股雅章 |
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書籍の内容
【第１編 基礎編】
第１章 自動車用センサ概論
（野々村裕）
1. はじめに
2. 自動車用センサとMEMS技術
3. 自動車用圧力センサ
4. 自動車用ガスセンサ
5. 自動車用磁気センサ
6. 自動車用加速度センサ
7. 自動車用角速度センサ
8. 自動車用環境認識センサ
9. まとめ
2. 自動車用センサとMEMS技術
3. 自動車用圧力センサ
4. 自動車用ガスセンサ
5. 自動車用磁気センサ
6. 自動車用加速度センサ
7. 自動車用角速度センサ
8. 自動車用環境認識センサ
9. まとめ
第２章 慣性センサ
（前中一介）
1. はじめに
2. 慣性センサの動作原理
2.1 加速度検出
2.2 角速度検出
2.3 変位検出機構／駆動機構
3. MEMS慣性センサの実際
3.1 MEMS慣性センサの特徴
3.2 慣性センサで用いられるMEMS技術
3.3 加速度センサ
2. 慣性センサの動作原理
2.1 加速度検出
2.2 角速度検出
2.3 変位検出機構／駆動機構
3. MEMS慣性センサの実際
3.1 MEMS慣性センサの特徴
3.2 慣性センサで用いられるMEMS技術
3.3 加速度センサ
3.3.1 表面マイクロマシニングによる構造
3.3.2 SOIウエハを用いたバルクマイクロマシニング
3.3.3 その他
3.4 角速度センサ
3.4.1 表面マイクロマシニングによる構造
3.4.2 チップ表面に垂直な参照振動を持つ構造
3.4.3 その他
3.5 周辺回路とパッケージング
4. まとめ
3.3.2 SOIウエハを用いたバルクマイクロマシニング
3.3.3 その他
3.4 角速度センサ
3.4.1 表面マイクロマシニングによる構造
3.4.2 チップ表面に垂直な参照振動を持つ構造
3.4.3 その他
3.5 周辺回路とパッケージング
4. まとめ
第3章 自動車用圧力センサ
（斉藤和典）
1. はじめに
2. 圧力センサの自動車用アプリケーション
3. 半導体圧力センサの方式
3.1 静電容量型
3.2 ピエゾ抵抗型
3.3 原理の比較
4. ピエゾ抵抗型圧力センサの要素技術
4.1 自動車用圧力センサ技術の特徴
4.2 圧力センサプロセス技術
4.3 回路形成プロセス技術
4.4 裏面研磨プロセス
4.4.1 真空基準室の気密性確保
4.4.2 平坦性確保
4.5 ダイヤフラム加工プロセス
4.6 真空基準室形成プロセス（静電接合）
4.7 EPROMトリミング技術
4.8 故障診断技術
4.9 パッケージング技術
4.9.1 製品構成
4.9.2 設計事例
4.9.3 アプリケーション
5. おわりに
2. 圧力センサの自動車用アプリケーション
3. 半導体圧力センサの方式
3.1 静電容量型
3.2 ピエゾ抵抗型
3.3 原理の比較
4. ピエゾ抵抗型圧力センサの要素技術
4.1 自動車用圧力センサ技術の特徴
4.2 圧力センサプロセス技術
4.3 回路形成プロセス技術
4.4 裏面研磨プロセス
4.4.1 真空基準室の気密性確保
4.4.2 平坦性確保
4.5 ダイヤフラム加工プロセス
4.6 真空基準室形成プロセス（静電接合）
4.7 EPROMトリミング技術
4.8 故障診断技術
4.9 パッケージング技術
4.9.1 製品構成
4.9.2 設計事例
4.9.3 アプリケーション
5. おわりに
第4章 可視光イメージセンサ
（太田淳）
1. はじめに
2. イメージセンサの構成
3. CCDイメージセンサ
4. CMOSイメージセンサ
5. イメージセンサの高性能化・高機能化
5.1 高速化
5.2 ターゲットトラッキング
5.3 3次元距離計測
6. おわりに
1. はじめに
2. イメージセンサの構成
3. CCDイメージセンサ
4. CMOSイメージセンサ
5. イメージセンサの高性能化・高機能化
5.1 高速化
5.2 ターゲットトラッキング
5.3 3次元距離計測
6. おわりに
第5章 赤外線イメージセンサ
（木股雅章）
1. はじめに
2. 赤外線イメージング
3. 赤外線イメージングの自動車応用
4. 非冷却赤外線イメージセンサの動作
5. いろいろな非冷却赤外線イメージセンサ
5.1 強誘電体方式
5.2 抵抗ボロメータ方式
5.3 SOIダイオード方式
5.4 熱電方式
6. まとめ
1. はじめに
2. 赤外線イメージング
3. 赤外線イメージングの自動車応用
4. 非冷却赤外線イメージセンサの動作
5. いろいろな非冷却赤外線イメージセンサ
5.1 強誘電体方式
5.2 抵抗ボロメータ方式
5.3 SOIダイオード方式
5.4 熱電方式
6. まとめ
第6章 化合物半導体薄膜磁気抵抗素子
（柴﨑一郎）
1. 序論
2. InSb薄膜の磁気抵抗効果と磁気抵抗素子の基礎
2.1 低磁界での磁気抵抗効果（磁束密度の2乗に比例する抵抗変化）
2.2 高磁界での磁気抵抗効果（磁束密度に比例する抵抗変化）
2.3 磁気抵抗素子材料と磁気抵抗効果の温度依存性
2.4 磁気抵抗効果の素子形状依存性
2.5 実用磁気抵抗素子の構造
2.6 動作磁束密度（実用磁気抵抗素子の動作磁束密度，最適動作磁束密度，バイアス磁界の設定）
3. InSb単結晶薄膜磁気抵抗素子の応用
3.1 磁気抵抗素子の応用による回転検出
3.2 InSb単結晶薄膜の磁気抵抗素子を使った回転センサの基本特性
3.3 磁気抵抗素子による微弱磁界検出応用
4. まとめ
1. 序論
2. InSb薄膜の磁気抵抗効果と磁気抵抗素子の基礎
2.1 低磁界での磁気抵抗効果（磁束密度の2乗に比例する抵抗変化）
2.2 高磁界での磁気抵抗効果（磁束密度に比例する抵抗変化）
2.3 磁気抵抗素子材料と磁気抵抗効果の温度依存性
2.4 磁気抵抗効果の素子形状依存性
2.5 実用磁気抵抗素子の構造
2.6 動作磁束密度（実用磁気抵抗素子の動作磁束密度，最適動作磁束密度，バイアス磁界の設定）
3. InSb単結晶薄膜磁気抵抗素子の応用
3.1 磁気抵抗素子の応用による回転検出
3.2 InSb単結晶薄膜の磁気抵抗素子を使った回転センサの基本特性
3.3 磁気抵抗素子による微弱磁界検出応用
4. まとめ
第7章 自動車用温度センサ
（野尻俊幸）
1. 温度センサについて
2. サーミスタについて
3. NTCサーミスタによる自動車用の温度センサの現状
4. ハイブリッド自動車，電気自動車の温度制御
4.1 駆動部の温度制御
4.2 動力分割機構の温度監視
4.3 2次電池の温度監視
4.4 インバータ制御
5. 今後の自動車用温度センサ
5.1 非接触温度センサ
5.2 高温用のサーミスタ温度センサ
5.3 無線タグ温度センサ
1. 温度センサについて
2. サーミスタについて
3. NTCサーミスタによる自動車用の温度センサの現状
4. ハイブリッド自動車，電気自動車の温度制御
4.1 駆動部の温度制御
4.2 動力分割機構の温度監視
4.3 2次電池の温度監視
4.4 インバータ制御
5. 今後の自動車用温度センサ
5.1 非接触温度センサ
5.2 高温用のサーミスタ温度センサ
5.3 無線タグ温度センサ
第8章 流量センサ
（佐々木昌）
1. 熱線式
2. 熱量式
3. 可動プレート式
4. カルマン渦式
5. 吸気圧式
1. 熱線式
2. 熱量式
3. 可動プレート式
4. カルマン渦式
5. 吸気圧式
第9章 超音波センサ
（佐野貢）
1. はじめに
2. 超音波の利用
3. 計測原理
4. 応用例
4.1 バックセンサ
4.2 車高センサ
4.3 トラフィックセンサ
4.4 衝突防止センサ
4.5 速度センサ
4.6 刈高センサ
4.7 スプレーヤ・ブーム高さセンサ
4.8 障害物センサ
4.9 燃料タンクセンサ
4.10 盗難防止センサ
4.11 車両ボックスドアー開閉センサ
4.12 積載率センサ
4.13 車上障害物センサ
5. 計測システムの構成
5.1 超音波センサ
5.2 送受信処理器（電装部・回路部・超音波送受信器・送受信処理器）
6. センサとして必要な技術
6.1 空気中の音波減衰
6.2 温度・湿度・圧力の影響
6.3 路面の反射損失
6.4 雑音
7. 他のセンサとの差別化
8. 適用品質レベル
9. 今後の動向と期待
1. はじめに
2. 超音波の利用
3. 計測原理
4. 応用例
4.1 バックセンサ
4.2 車高センサ
4.3 トラフィックセンサ
4.4 衝突防止センサ
4.5 速度センサ
4.6 刈高センサ
4.7 スプレーヤ・ブーム高さセンサ
4.8 障害物センサ
4.9 燃料タンクセンサ
4.10 盗難防止センサ
4.11 車両ボックスドアー開閉センサ
4.12 積載率センサ
4.13 車上障害物センサ
5. 計測システムの構成
5.1 超音波センサ
5.2 送受信処理器（電装部・回路部・超音波送受信器・送受信処理器）
6. センサとして必要な技術
6.1 空気中の音波減衰
6.2 温度・湿度・圧力の影響
6.3 路面の反射損失
6.4 雑音
7. 他のセンサとの差別化
8. 適用品質レベル
9. 今後の動向と期待
第10章 レーダの基礎
（緒方司郎）
1. 概説
2. 基本的な構成と計測原理
3. レーダ方程式とレーダの性能指標
4. 走査方式
5. 波動の性質とレーダ
6. まとめ
1. 概説
2. 基本的な構成と計測原理
3. レーダ方程式とレーダの性能指標
4. 走査方式
5. 波動の性質とレーダ
6. まとめ
第11章 ガスセンサ（鈴木健吾）
1. はじめに
2. ガスセンサの分類
3. 接触燃焼式ガスセンサ
3.1 接触燃焼式ガスセンサの構造
3.2 性能・特徴
3.3 最近の開発動向
4. 半導体式ガスセンサ
4.1 半導体式ガスセンサの原理
4.2 性能・特徴
4.3 センサの構造
4.4 最近の開発動向
5. 気体熱伝導式ガスセンサ
5.1 気体熱伝導式ガスセンサの原理と構造
5.2 最近の開発動向
6. 電気化学式ガスセンサ
6.1 ガルバニ電池式ガスセンサ
6.2 定電位電解式ガスセンサ
6.3 固体電解質型ガスセンサ
6.4 最近の開発動向
7. おわりに
1. はじめに
2. ガスセンサの分類
3. 接触燃焼式ガスセンサ
3.1 接触燃焼式ガスセンサの構造
3.2 性能・特徴
3.3 最近の開発動向
4. 半導体式ガスセンサ
4.1 半導体式ガスセンサの原理
4.2 性能・特徴
4.3 センサの構造
4.4 最近の開発動向
5. 気体熱伝導式ガスセンサ
5.1 気体熱伝導式ガスセンサの原理と構造
5.2 最近の開発動向
6. 電気化学式ガスセンサ
6.1 ガルバニ電池式ガスセンサ
6.2 定電位電解式ガスセンサ
6.3 固体電解質型ガスセンサ
6.4 最近の開発動向
7. おわりに
【第2編 応用編】
第1章 エアバッグ用加速度センサ
（竹内幸裕）
1. はじめに
2. 歪ゲージ式
3. 静電容量式
1. はじめに
2. 歪ゲージ式
3. 静電容量式
第2章 自動車向け低G加速度センサ
（番政広）
1. はじめに
2. MEMS容量型加速度センサ
3. 加速度の検出原理
4. センサ構造とパッケージ
5. センサエレメント製造プロセス
6. 電気的特性
7. むすび
1. はじめに
2. MEMS容量型加速度センサ
3. 加速度の検出原理
4. センサ構造とパッケージ
5. センサエレメント製造プロセス
6. 電気的特性
7. むすび
第3章 車両制御用角速度センサ
（藤吉基弘，野々村裕）
1. はじめに
2. SOI角速度センサ
2.1 角速度センサの原理
2.2 センサの高精度化とメカニカルカップリング現象
2.3 基本設計のための指針
2.4 FEM解析による軸独立性の評価
2.5 励振電極のクシ部ズレによるゼロ点出力の発生
2.6 ゼロ点出力の低減効果
3. 開構造を持つSOI角速度センサの試作
3.1 SOI角速度センサの構造
3.2 試作プロセス
3.3 結果
4. まとめ
1. はじめに
2. SOI角速度センサ
2.1 角速度センサの原理
2.2 センサの高精度化とメカニカルカップリング現象
2.3 基本設計のための指針
2.4 FEM解析による軸独立性の評価
2.5 励振電極のクシ部ズレによるゼロ点出力の発生
2.6 ゼロ点出力の低減効果
3. 開構造を持つSOI角速度センサの試作
3.1 SOI角速度センサの構造
3.2 試作プロセス
3.3 結果
4. まとめ
第4章 ナビゲーション用角速度センサ
（久万田明）
1. はじめに
2. カーナビ用ジャイロの最近の動向
3. カーナビ用ジャイロの最新の実例紹介
4. 今後のカーナビ用ジャイロの動向
1. はじめに
2. カーナビ用ジャイロの最近の動向
3. カーナビ用ジャイロの最新の実例紹介
4. 今後のカーナビ用ジャイロの動向
第5章 次世代タイヤ空気圧センサーシステム
（服部泰）
1. はじめに
2. タイヤ空気圧センサー装着の経緯
3. 次世代型の監視システムの目的と機能
4. センサーの特性とプロセッサーの性能
5. 走行試験による実測データ
6. その他のセンサーとデバイスなど
1. はじめに
2. タイヤ空気圧センサー装着の経緯
3. 次世代型の監視システムの目的と機能
4. センサーの特性とプロセッサーの性能
5. 走行試験による実測データ
6. その他のセンサーとデバイスなど
第6章 車載カメラを使ったシステムとその応用
（岡俊光）
1. 車載におけるカメラ利用の背景
2. 車載に求められるカメラ構成
2.1 レンズ部
2.2 撮像素子
2.3 露光制御
2.4 映像出力
2.5 筐体
3. 車載信頼性
3.1 温度などの環境性
3.2 電気的特性
4. 今後の方向性
4.1 カメラの用途
4.2 カメラの機能・性能
5. むすび
1. 車載におけるカメラ利用の背景
2. 車載に求められるカメラ構成
2.1 レンズ部
2.2 撮像素子
2.3 露光制御
2.4 映像出力
2.5 筐体
3. 車載信頼性
3.1 温度などの環境性
3.2 電気的特性
4. 今後の方向性
4.1 カメラの用途
4.2 カメラの機能・性能
5. むすび
第7章 車載センサ情報統合に基づく車両認識
（後藤敏行，鄭明燮）
1. まえがき
2. 車載センサを用いた走行環境認識の課題
3. 多重構造ニューラルネットワークに基づくセンサ統合
3.1 画像と距離データの正規化
3.2 多重構造ニューラルネットワーク
3.3 車両検出と車種判定
3.4 道路の走行環境モデルに基づいた時系列車両認識
4. 処理結果の一例
5. まとめ
1. まえがき
2. 車載センサを用いた走行環境認識の課題
3. 多重構造ニューラルネットワークに基づくセンサ統合
3.1 画像と距離データの正規化
3.2 多重構造ニューラルネットワーク
3.3 車両検出と車種判定
3.4 道路の走行環境モデルに基づいた時系列車両認識
4. 処理結果の一例
5. まとめ
第8章 運転環境下におけるドライバ状態のモニタリング技術
（山田宗男，中野倫明，山本新）
1. はじめに
2. ドライバモニタのキーデバイス
2.1 個人差に配慮したドライバ状態モニタ手法
2.2 顔・眼領域の探索および抽出手法
2.3 まばたきの検出
2.4 意識低下状態推定方法
2.5 視線方向の検出手法（脇見検知）
3. ドライバ状態モニタの性能
3.1 まばたき検出
3.2 意識低下状態推定
3.3 視線方向検出
4. 運転パフォーマンスとの融合
5. おわりに
1. はじめに
2. ドライバモニタのキーデバイス
2.1 個人差に配慮したドライバ状態モニタ手法
2.2 顔・眼領域の探索および抽出手法
2.3 まばたきの検出
2.4 意識低下状態推定方法
2.5 視線方向の検出手法（脇見検知）
3. ドライバ状態モニタの性能
3.1 まばたき検出
3.2 意識低下状態推定
3.3 視線方向検出
4. 運転パフォーマンスとの融合
5. おわりに
第9章 広ダイナミックレンジカメラ技術
（竹村裕夫）
1. まえがき
2. ダイナミックレンジの基礎
3. ダイナミックレンジ拡大の方式
3.1 撮像デバイスによる拡大方式
3.1.1 基本特性
3.1.2 対数方式
3.1.3 高感度・低感度2画素方式
3.1.4 横型オーバーフロードレイン方式
3.1.5 Pixim方式
3.2 撮像デバイスの駆動による方式
3.2.1 2重露光折れ線方式
3.2.2 2重露光線形変換方式
3.2.3 4倍速シャッタ方式
3.3 画像処理方式
3.3.1 2シャッタ時分割方式
3.3.2 適応型2シャッタ時分割方式
3.3.3 Apical方式
3.4 最近の動向
4. ダイナミックレンジ拡大の課題
1. まえがき
2. ダイナミックレンジの基礎
3. ダイナミックレンジ拡大の方式
3.1 撮像デバイスによる拡大方式
3.1.1 基本特性
3.1.2 対数方式
3.1.3 高感度・低感度2画素方式
3.1.4 横型オーバーフロードレイン方式
3.1.5 Pixim方式
3.2 撮像デバイスの駆動による方式
3.2.1 2重露光折れ線方式
3.2.2 2重露光線形変換方式
3.2.3 4倍速シャッタ方式
3.3 画像処理方式
3.3.1 2シャッタ時分割方式
3.3.2 適応型2シャッタ時分割方式
3.3.3 Apical方式
3.4 最近の動向
4. ダイナミックレンジ拡大の課題
第10章 赤外線イメージセンサの自動車応用
（廣田正樹）
1. はじめに
2. 赤外線の特徴とセンシング方法
3. 自動車応用分類
3.1 対象による分類
3.2 設置場所による分類
3.3 用途による分類
3.4 効用による分類
3.5 その他
4. 自動車応用システム
4.1 夜間前方撮像システム
4.2 車両周囲モニター
4.3 エアコンシステム
4.4 その他の車載システム
1. はじめに
2. 赤外線の特徴とセンシング方法
3. 自動車応用分類
3.1 対象による分類
3.2 設置場所による分類
3.3 用途による分類
3.4 効用による分類
3.5 その他
4. 自動車応用システム
4.1 夜間前方撮像システム
4.2 車両周囲モニター
4.3 エアコンシステム
4.4 その他の車載システム
第11章 エアコン用温度センサ
（坂東茂）
1. はじめに
2. カーエアコンセンサによるオートエアコンのコントロール系統概略
3. カーエアコンセンサの機能
3.1 エバポレータセンサ
3.2 ヒーターコア水温センサ
3.3 外気温度センサ
3.4 車室内気温センサ
1. はじめに
2. カーエアコンセンサによるオートエアコンのコントロール系統概略
3. カーエアコンセンサの機能
3.1 エバポレータセンサ
3.2 ヒーターコア水温センサ
3.3 外気温度センサ
3.4 車室内気温センサ
第12章 ミリ波レーダの自動車応用
（佐藤和夫，小川勝）
1. はじめに
2. 車載レーダの特徴
2.1 レーダ方程式
2.2 検出範囲
2.3 検出ターゲット，電波伝搬環境
2.4 自動車への搭載
3. 車載レーダの方式・構成
4. 車載レーダセンサの開発事例
5. 今後の方向性と必要な技術
5.1 小型化，低価格化
5.2 最短検知距離の近距離化と視野角の広角化
5.3 検出ターゲットの拡大
1. はじめに
2. 車載レーダの特徴
2.1 レーダ方程式
2.2 検出範囲
2.3 検出ターゲット，電波伝搬環境
2.4 自動車への搭載
3. 車載レーダの方式・構成
4. 車載レーダセンサの開発事例
5. 今後の方向性と必要な技術
5.1 小型化，低価格化
5.2 最短検知距離の近距離化と視野角の広角化
5.3 検出ターゲットの拡大
第13章 第3世代レーザレーダ―2次元スキャン機構による広視野，高分解能の達成―
（宮崎秀徳）
1. はじめに
2. システム構成
3. 測距原理
4. 2次元スキャン機構
5. 投光ビームの狭角化
6. アクティブアライメント
7. 水平方向認識性能改善
8. 性能評価
9. おわりに
1. はじめに
2. システム構成
3. 測距原理
4. 2次元スキャン機構
5. 投光ビームの狭角化
6. アクティブアライメント
7. 水平方向認識性能改善
8. 性能評価
9. おわりに
第14章 エアフローセンサ
（石川人志）
1. はじめに
2. エアフローセンサの種類と熱式エアフローセンサの測定原理
3. MEMSエアフローセンサ
3.1 開発背景
3.2 測定原理
3.3 課題と対策
4. エアフローセンサの今後の動向
1. はじめに
2. エアフローセンサの種類と熱式エアフローセンサの測定原理
3. MEMSエアフローセンサ
3.1 開発背景
3.2 測定原理
3.3 課題と対策
4. エアフローセンサの今後の動向
第15章 車載用GMR回転センサ
（川野裕司）
1. はじめに
2. 車載用回転センサ
3. GMR効果
4. GMR素子の特長とセンサへの適用における課題
4.1 GMR素子の特長
4.2 センサ適用における課題
4.2.1 高耐熱性の実現
4.2.2 信号処理回路（IC）とのモノリシック化
5. GMR回転センサの構成と動作原理
5.1 センサ構造
5.2 回路構成
5.3 動作原理
6. GMR回転センサの特性
6.1 検出可能範囲
6.2 検出精度（エッジ再現性）
7. GMR回転センサの応用展開
7.1 標準センサ
7.2 停止位置検出センサ
7.3 回転方向検出センサ
8. おわりに
1. はじめに
2. 車載用回転センサ
3. GMR効果
4. GMR素子の特長とセンサへの適用における課題
4.1 GMR素子の特長
4.2 センサ適用における課題
4.2.1 高耐熱性の実現
4.2.2 信号処理回路（IC）とのモノリシック化
5. GMR回転センサの構成と動作原理
5.1 センサ構造
5.2 回路構成
5.3 動作原理
6. GMR回転センサの特性
6.1 検出可能範囲
6.2 検出精度（エッジ再現性）
7. GMR回転センサの応用展開
7.1 標準センサ
7.2 停止位置検出センサ
7.3 回転方向検出センサ
8. おわりに
第16章 高速応答水素センサ「μ（マイクロ）-CS」
（宮崎洋）
1. はじめに
2. μ-CSセンサの構造
3. μ-CSセンサのセンサ特性
3.1 ガス応答特性
3.2 起動応答特性
3.3 長期安定性，耐久性
4. 車載用水素センサモジュール
5. おわりに
1. はじめに
2. μ-CSセンサの構造
3. μ-CSセンサのセンサ特性
3.1 ガス応答特性
3.2 起動応答特性
3.3 長期安定性，耐久性
4. 車載用水素センサモジュール
5. おわりに
第17章 高性能超音波センサシステムによる高信頼駐車支援技術
（奥雲正樹）
1. はじめに
2. 高性能超音波センサシステム
2.1 ドップラー効果を用いた速度計測
2.2 障害物表面凹凸の計測
2.3 センサからの超音波に対し垂直でない障害物の計測
3. 駐車時における距離計測性能の検証
4. おわりに
1. はじめに
2. 高性能超音波センサシステム
2.1 ドップラー効果を用いた速度計測
2.2 障害物表面凹凸の計測
2.3 センサからの超音波に対し垂直でない障害物の計測
3. 駐車時における距離計測性能の検証
4. おわりに
