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EPMA電子線マイクロアナライザーを広く深く正確に利用する徹底講座

※受付を終了しました。

通信講座概要

略称
EPMA
通信講座No.
ce190504
開催日
2019年05月21日(火)
講師
(株)応用科学研究所 代表取締役 工学博士 副島 啓義 氏
講師の経歴
【専門】
微小部・表面・界面分析法開発、X線応用分析、応物全般
【所属】
元(株)島津製作所 取締役
公益社団法人 日本表面科学会 理事・関西支部長歴任
一般社団法人 表面技術協会 理事歴任
学振141マイクロビームアナリシス委員会 諮問委員
奈良先端科学技術大学、大阪電気通信大学、他 客員教授歴任
「電子線マイクロアナリシス」日刊工業新聞社 執筆出版  
価格
1名で受講した場合: 49,980円(税込)
2名で受講した場合: 49,980円(税込)
3名で受講した場合: 64,800円(税込)
※4名以上で受講される場合はお問い合わせ下さい。
価格関連備考
1口2名まで49,980円(税込)
※同一法人より3名以上受講の場合、1名につき21,600円(税込)でご受講いただけます。  
スケジュール
※請求書はお申し込みを受理次第、発送させていただきます。
5月21日(火) 第1講 テキスト配本
6月21日(金) 第1講 演習問題回答締切(必着)  第2講テキスト配本
7月22日(月) 第2講 演習問題回答締切(必着)  第3講テキスト配本
8月22日(木) 第3講 演習問題回答締切(必着)
9月12日(木) 修了書送付  
趣旨
EPMA電子線マイクロアナライザ/マイクロアナリシスの原理・構造・分析手法・データ解析を確実に理解する。ミクロの世界の真実を明らかにするために、電子とX線の振舞いを理解し、装置構成や分析条件のツボを知る。マイクロアナリシスの分解能において、空間分解能という非常に重要な考え方を正確に理解し、正確なデータを取り正確にデータ解析を行う力を身に着ける。一般的に考えられているデータ解釈に、間違いがあり得ることも知り、真実を明らかにする方向・手法を身に着ける。  
プログラム

第1講 EPMAの基礎知識

電子・X線の振舞いを理解すること。EPMAの原理と装置構成を理解すること。基本的分析法とその事例と特徴を知ること。もっとも重要なX線については、装置の誤差ではなく、物理的背景から変動があることを説明し、変動の処理と正確なデータ処理を説明する。

1.電子と物質の相互作用
2.X線の発生 
3.X線の変動
4.装置の構成
5.基本的分析法

  ・分析の目的、定性分析、定量分析、状態分析
6.基本的分析表示法
  ・点分析、線分析、面分析(マッピング)
7.薄膜・微小部を正確に分析するための試料作成

【演習問題】

第2講 EPMAの様々な分析法と応用データ

EPMAの多様な分析情報を知ること。多様な分析法を知ること。多様な分析データの事例を知ること。一般には知られていない情報応用もあることを知り、装置の有効利用を図ること。

1.EPMAが解明するミクロの世界
  1-1 材料が必要とする情報
  1-2 マイクロ電子ビーム励起の様々な機能
2.様々な応用例
  2-1 様々な材料への応用
  2-2 故障解析に役立つ状態分析
  2-3 電子信号・光信号の特別な利用

【演習問題】

第3講 分析条件の設定法、薄膜・微小部のデータ信頼性向上

分析条件の違いで、データの可能性・信頼性が変化することを示す。空間分解能というEPMAのもっとも重要な項目を詳細に説明する。一見、見栄えのするデータに潜むかもしれない非真実を見抜く力・防ぐ力を説く。

1.分析条件の設定法
  ・加速電圧、ビーム電流、ビーム径
2.空間分解能
  ・X線の発生領域、薄膜・微粒子のX線強度
3.エッジの影響
4.走査像の分解能


【演習問題】  
キーワード
分析,微小,サンプル,ir,sem,通信教育,講座