（株）応用科学研究所 代表取締役 工学博士 副島 啓義 氏
【専門】
微小部・表面・界面分析法開発、Ｘ線応用分析、応物全般
【所属】
元（株）島津製作所 取締役
公益社団法人 日本表面科学会 理事・関西支部長歴任
一般社団法人 表面技術協会 理事歴任
学振141マイクロビームアナリシス委員会 諮問委員
奈良先端科学技術大学、大阪電気通信大学、他 客員教授歴任
「電子線マイクロアナリシス」日刊工業新聞社 執筆出版
[一般価格]
1名で受講した場合：
50,906円
（本体価格：46,278円）
2名で受講した場合：
50,906円
（本体価格：46,278円）
3名で受講した場合：
66,000円
（本体価格：60,000円）
4名以上で受講した場合の1名あたり追加金額：
22,000円
（本体価格：20,000円）
[会員価格]
1名で受講した場合：
50,906円
（本体価格：46,278円）
2名で受講した場合：
50,906円
（本体価格：46,278円）
3名で受講した場合：
66,000円
（本体価格：60,000円）
4名以上で受講した場合の1名あたり追加金額：
22,000円
（本体価格：20,000円）
1口2名まで49,980円（税込）
※同一法人より3名以上受講の場合、1名につき21,600円(税込）でご受講いただけます。
※請求書はお申し込みを受理次第、発送させていただきます。
5月21日（火） 第1講 テキスト配本
6月21日（金） 第1講 演習問題回答締切（必着） 第2講テキスト配本
7月22日（月） 第2講 演習問題回答締切（必着） 第3講テキスト配本
8月22日（木） 第3講 演習問題回答締切（必着）
9月12日（木） 修了書送付
EPMA電子線マイクロアナライザ／マイクロアナリシスの原理・構造・分析手法・データ解析を確実に理解する。ミクロの世界の真実を明らかにするために、電子とＸ線の振舞いを理解し、装置構成や分析条件のツボを知る。マイクロアナリシスの分解能において、空間分解能という非常に重要な考え方を正確に理解し、正確なデータを取り正確にデータ解析を行う力を身に着ける。一般的に考えられているデータ解釈に、間違いがあり得ることも知り、真実を明らかにする方向・手法を身に着ける。
第１講 EPMAの基礎知識
電子・Ｘ線の振舞いを理解すること。EPMAの原理と装置構成を理解すること。基本的分析法とその事例と特徴を知ること。もっとも重要なＸ線については、装置の誤差ではなく、物理的背景から変動があることを説明し、変動の処理と正確なデータ処理を説明する。
１．電子と物質の相互作用
２．Ｘ線の発生
３．Ｘ線の変動
４．装置の構成
５．基本的分析法
・分析の目的、定性分析、定量分析、状態分析
６．基本的分析表示法
・点分析、線分析、面分析（マッピング）
７．薄膜・微小部を正確に分析するための試料作成
【演習問題】
第２講 EPMAの様々な分析法と応用データ
EPMAの多様な分析情報を知ること。多様な分析法を知ること。多様な分析データの事例を知ること。一般には知られていない情報応用もあることを知り、装置の有効利用を図ること。
１．EPMAが解明するミクロの世界
1-1 材料が必要とする情報
1-2 マイクロ電子ビーム励起の様々な機能
２．様々な応用例
2-1 様々な材料への応用
2-2 故障解析に役立つ状態分析
2-3 電子信号・光信号の特別な利用
【演習問題】
第３講 分析条件の設定法、薄膜・微小部のデータ信頼性向上
分析条件の違いで、データの可能性・信頼性が変化することを示す。空間分解能というEPMAのもっとも重要な項目を詳細に説明する。一見、見栄えのするデータに潜むかもしれない非真実を見抜く力・防ぐ力を説く。
１．分析条件の設定法
・加速電圧、ビーム電流、ビーム径
２．空間分解能
・Ｘ線の発生領域、薄膜・微粒子のＸ線強度
３．エッジの影響
４．走査像の分解能
【演習問題】
分析,微小,サンプル,ir,sem,通信教育,講座
