経験豊富な講師が、レジストの必須基礎知識からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説する！
１．リソグラフィの基礎
（１）リソグラフィーとは
（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
２．レジスト材料とその高性能化
（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
（２）G線、i線用レジスト
（３）KrF用レジスト
（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
（５）EUV用レジスト
３．レジスト製造技術と品質管理
（１）レジスト製造技術
（２）レジストの性能安定化技術
（３）品質管理－その項目と方法
４．レジスト材料の評価技術
（１）性能評価
（２）品質評価
（３）シミュレーション技術
５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
（１）種々のトラブルとその解決策（材料面から）
（２）種々のトラブルとその解決策（プロセス面から）
（３）顧客対応の方法
６．20nm以下のリソグラフィー技術
（１）ダブルパターンニング技術
（２）DSA技術とその材料
（３）ナノインプリント技術
（４）今後のリソグラフィー技術
【質疑応答・名刺交換】