≪基礎編≫
1.スパッタリング法の基礎
1-1.薄膜の基本を押さえよう
1-2.スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
1-3.スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
1-4.スパッタリング装置の構成を把握しよう
1-5.スパッタリング工程の運用と管理について
2.スパッタリング法の物理現象
2-1.物理現象を把握することの重要性
2-2.スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
2-3.スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
2-4.スパッタリングの物理現象3(組織形成)
2-5.スパッタリングのパラメータを整理しよう
3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3-1.スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3-2.膜厚・形状の評価方法とポイント
3-3.各種特性評価の方法とポイント
3-4.元素・状態分析の方法とポイント
3-5.結晶構造評価の方法とポイント
3-6.機械的性質・密着性評価の方法とポイント
≪応用編≫
4.スパッタリング薄膜の特性安定化
4-1.特性実現と特性安定化という2つの課題
4-2.特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
4-3.プロセスのばらつき・変動要因について
4-4.プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
4-5.スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
4-6.特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
5-1.薄膜の密着と剥離のメカニズム
5-2.剥離解析からの原因追究のポイント
5-3.信頼性評価・・密着性、機械的強度、各種試験
5-4.スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
5-5.密着性トラブルシューティング 事例と対策
6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6-1.スパッタリング薄膜の欠陥モード
6-2.スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6-3.ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6-4.変色・しわ・しみの原因究明と対策
6-5.外観トラブルシューティング 事例と対策
7.スパッタリング工程の生産性改善
7-1.スパッタリング工程の原価を把握しよう
7-2.スパッタリング工程のコスト改善手法
7-3.スパッタリング工程の運用体制と稼働率
7-4.スパッタリング工程の稼働率改善法
7-5.メンテナンスを安全化しよう
7-6.生産性改善アプローチの事例