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現場で即役立つクリーンルームの維持管理について基礎から実演を交えてわかりやすく解説します。

クリーンルームにおけるゴミ・異物の見える化と静電気対策

セミナー概要

略称
クリーンルーム
セミナーNo.
開催日時
2019年03月22日(金)10:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp
開催場所
商工情報センター(カメリアプラザ) 3F 第3研修室
講師
NCC(株) 生産環境クリーン化事業部 チーフコーディネーター 矢島 良彦 氏
 <経歴>
 元セイコーエプソン株式会社 生産技術開発本部に在籍し、全社のクリーン化技術を牽引。
 全社クリーン化技術専門部会リーダー、全社クリーン化技術推進部会リーダーを歴任
 ESDコーディネーター資格取得 (ESDC-01-0245)
 日本空気清浄協会 JIS標準作成専門委員会に参画 (2005~2006年度)
 元シーズシー有限会社 技術顧問
 現在:クリーン化技術コンサルタント:ザッツ ブレイン代表
 日本空気清浄協会 個人会員

NCC(株) 生産環境クリーン化事業部 平林 洋輔 氏
価格
非会員: 49,980円(税込)
会員: 47,250円(税込)
学生: 10,800円(税込)
価格関連備考
■ 会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,980円(税込)から
 ・1名で申込の場合、47,250円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,980円(2人目無
料)です。
■ 会員登録とは? ⇒ よくある質問
■ 学生価格は、教職員や研究員、企業に在籍されている学生には適用されません。
また、当日学生証をご持参ください。
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
昼食、資料付

講座の内容

受講対象・レベル
① クリーンルーム環境での、製造業務に携わり2~3年の若手エンジニアや新人
② クリーンルーム環境での、製造に携わり、現場キーマンをめざす方、中堅、新人
③ これから異物対策に携わる管理・監督者の方
④ ゴミ・異物不良でお困りの方
必要な予備知識
① この講義を受講のために、事前知識や準備は必要ありません。
② 初心者・新人の皆さんにも理解できる様、資料にも工夫しております。
③ 実際の写真や動画を随所に挿入し、分かり易く解説致します。
④ 現在抱える、課題・疑問等あれば、事前若しくは、
  当日ご紹介いただければ、講義の中で事例研究として展開させていただきます。
習得できる知識
① クリーンルーム環境の管理手法と実務(清掃のあり方方法)
② ゴミ・異物の見える化手法と粗大粒子の捉え方と数値管理法
③ 防塵衣のあり方と管理、防塵衣の選定方法
④ ゴミ・異物対策を進める上での、静電気対策の考え方
⑤ その他 クリーン化技術全般に渡る知識 事例紹介
趣旨
 「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。
 クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生してしまう。クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発してしまう。こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パー ティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。
5~10~100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法・数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。
 現場に戻り即、役立つ情報・技術・管理手法 等を分かり易く、ご説明致します。
ご質問や疑問点があるときは、その都度 ご発言して構いません。
多くの方のご発言をお待ちしています。一緒に考え解決して行きましょう。
プログラム

1.クリーン化の基礎知識
 1-1 なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
 1-2 クリーンルームの導入効果とは
 1-3 加速するクリーン化の要求
 1-4 ものづくり環境はどうあるべきなのか。
 (1)良い清浄環境とは?良い製造環境とは?
 1-5 クリーン化技術関連マップの解説
 1-6 クリーンルームの目的とは
 1-7 クリーンルームの活用事例
 1-8 クリーンルームの分類
 1-9 クリーンルームのはじまり~歴史
 1-10 クリーンルームの定義
 1-11 クリーンルーム環境の留意点
 1-12 クリーンルームの方式と特徴
 1-13 二つの清浄化メカニズム
 1-14 HEPA/ULPAフィルターとは
 1-15 エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
 1-16 なぜ、クリーン化四原則なのか
 1-17 クリーン度の表し方/クラス比較
 1-18 クリーンルームの日常管理  等

2.クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
 2-1 クリーン化における清掃は技術として捉えよう
 2-2 この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
 2-3 クリーンルームの清掃の目的と意義
 2-4 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
 2-5 生産環境における清浄化対象箇所
 2-6 清掃はいつやるのが良いのか。:始業時?終業時?昼休み前後?
 2-7 クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
 2-8 クリーンルームの占有状態と言う捉え
 2-9 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
 2-10 「見える化機器」の活用法
 2-11 なぜ、見える化が必要なのか
 2-12 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
 2-13 クリーンルームの清掃方法
  ① 清掃作業員の適正化も大切
  ② 清掃方法の分類と方法:その1 日常/定期/特別と言う捉え
  ③ 清掃方法の分類と方法:その2 簡易/普通/精密と言う捉え
  ④ 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる etc
  ⑤ 清掃の手順はどうするのか。
  ⑥ 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
  ⑦ 清掃用具類のあり方
  ⑧ 清掃方法の効果と比較
  ⑨ 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
  ⑩ 粘着マットの剥がし方にも注意を!

3.見える化機器の実演と粗大粒子計測実演
  ① 見える化機器を活用した、浮遊する異物の確認と付着異物の確認
  ② 落下塵カウンターによる粗大粒子計測:シリコンウエハを試料板とする
  ③ 実演を通して、受講者に体験して実際を感じてもらうことを主眼とする

4.防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
 4-1 なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
 4-2 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
 4-3 人間の動作と発塵量
 4-4 クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
 4-5 皮膚からの発塵の抑制の考え方
 4-6 防塵衣に求められる性能
 4-7 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
 4-8 防塵衣の性能を発揮するには?
 4-9 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
 4-10 動作発塵評価 3事例ご紹介
 4-11 ポンピング発塵データご紹介
 4-12 評価環境と機器類とは
 4-13 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニング
 4-14 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
  ① 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
  ② クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
  ③ 粗大粒子と言う捉え
  ④ クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
  ⑤ 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
  ⑥ 粗大粒子による影響が大きい
  ⑦ 粗大粒子が原因となった不良事例 3点
  ⑧ JISによる粒子の分類と定義
  ⑨ 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違い
  ⑩ 気中パーティクルカウンターの特性
  ⑪ パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
  ⑫ ゴミ・異物の大きさと挙動の認識(鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
  ⑬ 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
  ⑭ 粗大粒子は見える化出来る!
  ⑮ 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
  ⑯ ISO-14644シリーズ
  ⑰ ISO-14644-9表面清浄度規格:SCP規格
  ⑱ ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要
   *実演とのコラボ連携

5.クリーン化における静電気対策  
 5-0 クリーン化において、なぜ静電気に注力するのか
 5-1 静電気の基礎
 (1)静電気の基礎知識
 (2)静電気の影響
 (3)静電気の測定
 (4)静電気対策
  ① 静電気対策法
  ② 静電気対策の基本
  ③ アースと対策事例
  ④ 加湿による対策法
  ⑤ 界面活性剤による対策法
  ⑥ イオナイザーによる対策法
   :イオナイザーの種類と活用法
   :除電メカニズム
   :イオナイザーの現場活用(良い事例/悪い事例)


 

キーワード
クリーンルーム,維持管理,見える化,基礎,講座,講習会,セミナー

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