☆真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について、基礎から実務への活用法をわかりやすく解説します

薄膜作製の基礎とトラブル対策 ~真空蒸着、スパッタ、CVD~【LIVE配信】
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーに変更になりました。会場での参加はございません。(7/8更新)

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
薄膜【WEBセミナー】
セミナーNo.
200828
開催日時
2020年08月19日(水) 10:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
価格
非会員:  55,000円 (本体価格:50,000円)
会員:  49,500円 (本体価格:45,000円)
学生:  55,000円 (本体価格:50,000円)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
 ★1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。
■会員登録とは? ⇒ よくある質問
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
資料付

・本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・「ミーティング用Zoomクライアント」をダウンロードするか、ZOOM を
  ダウンロードせず、Web ブラウザから参加するかの2種類がございます。
  ZOOM WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。

・お申込み後、受理のご連絡メールをさせていただきます。
 一部メールが通常セミナー形式(受講券、請求書、会場の地図)になっておりますが
 LIVE配信のみのセミナーです。
・お申込み後、接続テスト用のURL(https://zoom.us/test)から
「ミーティングテストに参加」を押していただき動作確認をお願いします。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時の10分前に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・セミナー資料は郵送にて前日までには、お送りいたします。電子媒体での配布はございません。
ご自宅への送付を希望の方はコメント欄にご住所などをご記入ください。
・ご質問については、オープンにできるご質問をチャットにご記入ください。
 個別相談(他社に知られたくない)のご質問は後日メールにて講師と直接お願いします。
・タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。

講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの
複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
・薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方
・薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方
必要な予備知識
高等学校程度の物理、化学および数学の知識。できるだけ初学者の方でも理解できるよう、数式等の使用は最小限にして解説します
習得できる知識
・成膜プロセス設計に必要な基礎知識
・成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識
趣旨
 スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長(CVD)法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス,太陽電池,建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
 本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。
プログラム

1.成膜技術に必要な真空・表面物性工学
 1-1. 気体分子運動論の基礎
 1-2. 真空工学の基礎
 1-3. 表面物性工学の基礎

2.真空蒸着法
 2-1. 真空蒸着法の原理
 2-2. 真空蒸着法の種類と装置例
 2-3. 真空蒸着法で作製される薄膜の例
 2-4. 真空蒸着法を適用する際の留意事項

3.スパッタ法
 3-1. スパッタ法の原理  
 3-2. スパッタ法の種類と装置例
 3-3. スパッタ法で作製される薄膜の例
 3-4. スパッタ法を適用する際の留意事項

4.化学気相成長(CVD)法
 4-1. CVD法の原理  
 4-2. CVD法の種類と装置例
 4-3. CVD法で作製されるさまざまな薄膜の例
 4-4. CVD法を適用する際の留意事項

5.薄膜評価法
 5-1 表面モルフォロジ、ステップカバレッジ
 5-2 膜組成、膜構造
 5-3 付着力、膜応力
 5-4 電気的特性、光学的特性

6.成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法
 6-1 膜質に関するトラブル
 6-2 装置に関するトラブル

キーワード
薄膜,成膜,蒸着,スパッタ,CVD,評価,セミナー,研修,講習
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