経験豊富な講師が、基礎から日頃の業務に役立つ実務的な内容までを動画や実データを用いて分かりやすく解説!
1.はじめに
2.クリーンルームの概要
・クリーンルームとは
・非一方向流と一方向流の違い(動画による比較)
・クリーンルームの指針や規格
・清浄度の決定・計算方法
3.クリーンルームの気流制御・局所化
・微粒子の挙動
・気流制御の要点(動画による解説)
・吸込口の位置影響
・グレーチングの効果
・局所化の実施例
4.クリーンルームの維持管理
・モニタリング(気流の可視化方法や測定例を動画により紹介します)
・ワースポイントの調査方法
・作業者の管理、発塵源
・クリーンルームの清掃
5.クリーンルームあれこれ
・クリーンルームの規格
・静電気対策(コロナ放電式イオナイザからの発塵対策も含みます)
・ケミカル汚染対策
・よくある失敗例
・その他
【質疑応答】