PVD・ＣＶＤによる成膜技術とトラブル対策

セミナータイトル

・成膜技術熟練者へなるためのセミナー！
・推奨となる成膜条件からの素早い試作と、数十の成膜法ノウハウを修得し、高付加価値製品つくりに活かそう！

PVD・ＣＶＤによる成膜技術とトラブル対策

セミナー概要

【講座の内容】

【受講対象】

・金型、工具類、摺動部品、光学部品、電子機器・電子デバイス、装身具、スポーツ用品、磁気デバイス、磁気センサ、精密機械部品、ロール、真空機器部品、機械要素（ねじ、ナット類）、シリンダー・ライナー類、、シールなど関連の方々
・初心者でコーティングをこれから学ぼうとする方
・現場にて熟練者の技能を蓄積、共有化が必要な方
・実際に自分達で行っていないがコーティングの比較検証が必要な方
・金属製品製造業、機械部品製造業、自動車部品製造業、金属表面処理業などの機械系技術者、材料系技術者、表面処理技術者など 

【予備知識】

・真空及びＰＶＤ、ＣＶＤ技術に関する基礎的知識
・応用物理に関する基礎的知識
・機械分野や半導体分野、磁性体分野などの加工で体得した現場知識

【修得知識】

・ＰＶＤおよびＣＶＤの成膜法とポイント
・膜特性の評価法とポイント
・皮膜から見たトラブルと解決法
・各種成膜支援シミュレーション利用法
・膜特性と成膜パラメータの相関関係
・熟練技能の蓄積、共有化手法の例
・コーティングに関する評価法とポイント
・次世代の電池や電子デバイス、機械部品等とへの応用と成膜法

【講師の言葉】

　多くの成膜技術の中でも、ＰＶＤおよびＣＶＤは生成可能な膜種が多く応用分野も広いことから、自社製品用の内製加工から受託加工まで行われています。

　ＰＶＤ・ＣＶＤデータベースでは、アニメーションによる成膜法や評価法の原理やポイントや、基板温度や成膜室圧力などの加工条件パラメータと膜特性の相関に関する加工事例、光沢不良や密着不良などへのトラブル対策など豊富な事例が満載です。このほか、シミュレーション、自社の技能継承ツール、デジタル化手法を最大限に活用して、ＰＶＤ、ＣＶＤに関するコーティングに関する一通りの進展や技術知識情報を一気に習得できることを目指し、初心者から熟練者への近道を狙います。特に、素早い試作とトラブル対策に力を発揮することを念頭に講義を行います。６時間という限られた時間の中で、数十の成膜法と評価方法を修得いただけます。

【プログラム】

?．コーティング法の紹介

　・原理と特徴について

?．膜特性評価法の紹介

　・原理と特徴について

?．ＰＶＤ・ＣＶＤデータベースの紹介と活用法

　　１．トラブル（欠陥）対策に関する事例データベース
　　２．推奨の成膜、加工条件
　　３．ＰＶＤ?ＣＶＤに関する計算プログラム集
　　　　ａ．成膜装置内基板セット枚数計算
　　　　ｂ．有機金属蒸気圧計算
　　　　ｃ．光学薄膜用光学特性計算
　　　　ｄ．屈折計算
　　　　ｅ．消衰係数計算
　　　　ｆ．内部透過率計算　　
　　　　ｇ．大気中の透明誘電体薄膜屈折率計算
　　　　ｈ．真空中中の透明誘電体薄膜屈折率計算

?．データ事例で見る膜特性と成膜パラメータの相関

　　?構造、機械、光学、電気、磁気、各種膜特性?

　　１．データ事例で見る機械特性と成膜条件の相関
　　２．データ事例で見る構造特性と成膜条件の相関
　　３．データ事例で見る光学特性と成膜条件の相関
　　４．データ事例で見る電気・磁気特性と成膜条件の相関

?．各種シミュレーションの紹介

　　・光学薄膜、基板セット枚数など

?．ＰＶＤ・ＣＶＤ加工テンプレートの紹介

　　・品質管理に活用できる

?．熟練の見える化法の紹介

　　・階層分析法、ベイズ推論など

?．これからのＰＶＤ・ＣＶＤコーティング

　　１．高速成膜
　　２．低温成膜
　　３．次世代電池
　　４．半導体
　　５．電池
　　６．医療応用