MEMS加速度・ジャイロセンサ技術の基礎と実例
セミナータイトル
機械設計、加工製作、電気検出回路など豊富な実例を通して具体的に理解できる特別セミナー！
MEMS加速度・ジャイロセンサ技術の基礎と実例
セミナー概要
セミナー番号 | j100656 |
会 場 | |
日 時 | 平成22年6月22日（火） 10：30?17：30 |
聴講料 | １名につき47,250円（税込、資料付き） ※昼食は付いておりません 同時複数申込の場合１名：42,000円 主催：株式会社日本テクノセンター お問い合わせ 03-3599-5811 ｍａｉｌ：http://www.rdsc.co.jp/contact/ |
【講座の内容】
【受講対象】
・ＭＥＭＳ加速度センサ・ジャイロセンサの開発に従事している方
・ＭＥＭＳ加速度センサ・ジャイロセンサ技術を広く理解したいと思う方
・センサを利用したシステムの開発に従事している方
・ＭＥＭＳ技術に関心のある方
・自動車（エアバック、カーナビゲーション）、機械（ロボット）、電子機器（ゲーム機、ハードディスク）、電子部品関連企業の方
・ＭＥＭＳ加速度センサ・ジャイロセンサ技術を広く理解したいと思う方
・センサを利用したシステムの開発に従事している方
・ＭＥＭＳ技術に関心のある方
・自動車（エアバック、カーナビゲーション）、機械（ロボット）、電子機器（ゲーム機、ハードディスク）、電子部品関連企業の方
【予備知識】
・特に深い知識を要求しませんが、半導体加工技術、アナログ回路技術、力学の基礎を理解していると講義内容の理解が容易となると思います
【修得知識】
・MEMS加速度センサ・ジャイロセンサ技術の基礎全般。さらに、これらセンサの応用に関する知識
【講師の言葉】
ＭＥＭＳ三次元加工技術は、現在、圧力センサを初めとして多くの分野に応用されています。特に、MEMS技術を利用した加速度センサやジャイロセンサは、近年、車やゲーム機器市場で需要が急速に拡大したことから、大きな注目が集まっています。
本講義では、このＭＥＭＳ加速度センサとジャイロセンサ技術の基礎から実務までを深く理解することを目的にしており、１）機械設計技術、２）加工製作技術、３）電気検出回路技術、を豊富な実例を通して具体的に講義します。
本講義は、これらそれぞれの技術を基礎から平易に解説するため、初心者にとって理解しやすいと思います。また、すでに実務についている方にとっては、広大な知識を整理するのに役立つだろうと思います。 。
本講義では、このＭＥＭＳ加速度センサとジャイロセンサ技術の基礎から実務までを深く理解することを目的にしており、１）機械設計技術、２）加工製作技術、３）電気検出回路技術、を豊富な実例を通して具体的に講義します。
本講義は、これらそれぞれの技術を基礎から平易に解説するため、初心者にとって理解しやすいと思います。また、すでに実務についている方にとっては、広大な知識を整理するのに役立つだろうと思います。 。
【プログラム】
?．MEMSセンサ技術の流れ
１．マイクロマシニング技術
２．半導体圧力センサ
３．加速度センサとジャイロセンサ
２．半導体圧力センサ
３．加速度センサとジャイロセンサ
?．MEMS加速度センサ・ジャイロセンサの開発の流れ
１．開発初期：ピエゾ抵抗型、Torsion Bar
２．自動車用途実用化：静電容量型、自己診断、上下対称構造、Force balancing
３．高感度化と高機能化 ：狭ギャップ作製技術、ΔΣ変換回路
２．自動車用途実用化：静電容量型、自己診断、上下対称構造、Force balancing
３．高感度化と高機能化 ：狭ギャップ作製技術、ΔΣ変換回路
?．MEMS加工技術：原理と実際
１．慣性センサ：用語、市場
２．作製方法
２．作製方法
?．MEMS加速度センサの原理と実例
１．加速度センサの動作原理
２．検出回路
３．加速度センサの実例：アナログデバイス社加速度センサ
２．検出回路
３．加速度センサの実例：アナログデバイス社加速度センサ
?．MEMSジャイロセンサの原理と実例
１．ジャイロセンサの動作原理
２．種々の検出方式
ａ．ピエゾ抵抗型
ｂ．静電容量型
ｃ．圧電型
３．検出回路
４．ジャイロセンサの実例
２．種々の検出方式
ａ．ピエゾ抵抗型
ｂ．静電容量型
ｃ．圧電型
３．検出回路
４．ジャイロセンサの実例
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