薄膜の力学的特性(応力、ひずみ、欠陥、硬さ)を学び、密着性改善技術に言及する!
スクラッチ(引っ掻き)試験、マイクロスクラッチ試験で測定・評価を学び、より良い高品質な薄膜へ!

薄膜の内部応力発生メカニズムと密着性制御およびその評価手法
~初心者から実務者まで学べます!~

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セミナー概要
略称
薄膜内部応力
セミナーNo.
st140520
開催日時
2014年05月26日(月) 10:30~16:30
主催
サイエンス&テクノロジー(株)
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
きゅりあん 5F 第3講習室
価格
非会員:  49,500円 (本体価格:45,000円)
会員:  47,025円 (本体価格:42,750円)
学生:  49,500円 (本体価格:45,000円)
価格関連備考
会員受講料 46,170円(税込)

【2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の24,300円)】
  ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
  ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
  ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で追加受講できます。
  ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
  (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
  ※他の割引は併用できません。
備考
※資料・昼食付
講座の内容
趣旨
 本講では、薄膜の構造、力学的性質、密着性に関連して、薄膜の内部応力や硬さのもたらす効果、その調整技術および測定技術を解説し、応用例として、薄膜の密着性評価を紹介し、密着性改善技術に言及する。
 またマイクロスクラッチ試験(あるいはマイクロトライボ試験)の原理と実施例を解説する。初心者から実務者まで対応します。
プログラム
1.薄膜の力学的特性
1.1 応力とひずみの関係 ~固体薄膜の力学
1.2 熱応力と真性応力
1.3 測定 ~基板変形および格子ひずみ測定
1.4 最近の薄膜X線回折技術 ~in line 測定
1.5 ひずみエネルギーと結晶配向
1.6 内部応力の制御
1.7 構造欠陥と硬さ ~弾性変形と塑性変形
1.8 超微小硬さ測定
1.9 硬さと耐腐食性:ハードコーティング

2.薄膜の密着性
2.1 耐久性・寿命としての密着性
2.2 薄膜における損傷
2.3 各種の密着性測定法の長所・短所
2.4 故障解析からの密着性評価
2.5 故障・剥離とワイブル分布
2.6 内部応力と密着性
2.7 異種材料の密着性
2.8 製膜技術と密着性 ~特にプラズマ援用技術

3.スクラッチ(引っ掻き)試験とは?
3.1 定荷重および荷重増加型スクラッチ試験
3.2 剥離,摩擦力変化あるいはAE発生
3.3 試験条件と臨界荷重
3.4 臨界せん断応力
3.5 薄膜/基板の界面エネルギー
3.6 スクラッチの物理と破壊力学
3.7 スクラッチ試験の注意点(結果が逆転!)

4.マイクロスクラッチ試験
4.1 振動式スクラッチ試験の動作原理
4.2 光学薄膜とスクラッチ試験 JIS R3255
4.3 スクラッチ速度による違い
4.4 針先端径による影響 ~Weibull分布
4.5 密着性試験の再現性
4.6 他の密着性試験との相関 ~臨界損傷の違い
4.7 軟質膜および粘性膜への応用

□質疑応答・名刺交換□
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