非会員：
44,000円
（本体価格：40,000円）
会員：
41,800円
（本体価格：38,000円）
学生：
44,000円
（本体価格：40,000円）
会員受講料 41,040円
【2名同時申込みで1名分無料（１名あたり定価半額の21,600円）】
※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
※他の割引は併用できません
１．表面分析法の特徴
1.1 表面分析法の種類
1.2 空間分解能でみた表面分析法の特徴
1.3 各種質量分析法の比較
1.4 表面分析法による機能材料評価の特徴
２．TOF-SIMS法の原理と特徴
2.1 二次イオン質量分析（SIMS）法
2.2 カスケードモデル
2.3 飛行時間型分析器
2.4 一次イオン源
3.5 スパッタイオン源
2.6 TOF-SIMS法の特徴
３．クラスターイオンスパッタリングの原理と特徴
3.1 クラスターイオン源
3.2 スパイクモデル
3.3 単原子イオンとクラスターイオンの比較
3.4 ガスクラスターイオン
3.5 TOF-SIMSによる深さ方向分析の特徴
４．TOF-SIMS試料のサンプリングとハンドリング
4.1 TOF-SIMS測定試料の形状
4.2 ビニール袋、プラスティック容器の問題点
4.3 サンプリングと保管のための清浄容器
4.4 粘着テープと固定ペーストによる試料固定
4.5 粉末試料、断面試料、ファーバー試料のハンドリング
５．TOF－SIMS測定と解析の実際
5.1 TOF-SIMSの測定モード
5.2 スペクトル測定
5.3 正イオンスペクトルと負イオンスペクトル
5.4 マスピークの同定
5.5 同位体比マーカの利用
5.6 データベースを利用した化合物の同定
5.7 マップ測定
5.8 レトロスペクティブな解析
5.9 微量金属分析
5.10 深さ方向分析
６．最新のTOF-SIMSの分析例
6.1 セラミクス材料の分析例
6.2 半導体材料の分析例
6.2.1 半導体材料の表面汚染分析例
6.2.2 半導体デバイスの深さ方向分析例
6.2.3 有機半導体デバイスの深さ方向分析例
6.3 配線材料・電極の分析例
6.4 有機高分子材料の分析例
6.4.1 高分子材料の表面分析例
6.4.2 高分子材料の添加物分布分析例
6.4.3 高分子材料の３次元分析例
6.5 薬剤の分析例
6.6 生体試料の分析例
□ 質疑応答 □
