金属、無機のスパッタリング薄膜や樹脂コーティング膜などを具体例に解説
薄膜の密着性にまつわる問題に対処する際に知っておきたい実践的な知識・ノウハウ教えます
１．なぜ剥離が発生するのか
1.1 まずは剥離したところをよく観察しよう
1.2 剥離に影響を与える材料的要因と剥離発生要因の簡単な見分け方
1.3 異種材料間の界面構造はどうなっているのか？
1.4 表面／界面エネルギーと密着力の意味するもの
1.5 密着と粘着・接着との違い
1.6 膜応力とは何か？
1.7 剥離・破壊を理解する考え方の基本
1.8 剥離を起こさないための条件とは
２．密着性をどのように評価するか
2.1 様々な密着力評価方法の特長と注意点：テープテスト・３点曲げテスト・スクラッチテスト
2.2 密着力の測定値に対する測定条件の影響
2.3 スクラッチテストの詳解：得られる情報とその読み解き方
2.4 スクラッチ法の樹脂コーティングの密着性評価への展開
2.5 密着強度はどこまで当てになるのか？
３．密着性を改善するには
3.1 密着性向上の方法
3.2 異種材料界面と表面／界面の改質手法
3.3 密着力を低下させる薄膜の表面欠陥の防止策
3.4 膜応力を低減するとなぜ密着力は改善するのか
４．剥離／密着不良が起こった場合にどのように対処するのか
4.1 対処手順と解析の方法
4.2 ケーススタディ１：様々な剥離形態により発生要因を読み取る具体例
4.3 ケーススタディ２：剥離原因を絞込み、密着性改善対策をおこなう手順の具体例
５．まとめ
□ 質疑応答 □