近年、MEMSデバイスの進化は進み、各種センサーやアクチュエータでは必要不可欠なものとなっております。
その中でも圧電材料は製品の小型化・高機能化への貢献が期待されています!
圧電材料を中心にMEMS材料の開発・デバイスへの応用のポイントを解説いたします

MEMSデバイスの開発と製品への応用
~圧電材料を用いた開発事例からみるMEMS開発・デバイスへの応用のポイント~

このセミナーは【会場での受講】の他に、【WEBセミナー(アーカイブ:撮影した動画)】でのご受講が可能です。

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
MEMSデバイス
セミナーNo.
st200911
開催日時
2020年09月14日(月) 13:00~16:30
主催
サイエンス&テクノロジー(株)
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
きゅりあん 4F 第1特別講習室
価格
非会員:  44,000円 (本体価格:40,000円)
会員:  41,800円 (本体価格:38,000円)
学生:  0 (本体価格:0)
価格関連備考
44,000円 ( 会員受講料 41,800円 )
会員価格:1名につき 41,800円 2名の場合 44,000円、3名の場合 66,000円(税込)

【2名同時申込みで1名分無料!(1名あたり定価半額の24,750円)】
※2名様とも会員登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価の半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
持参物
※資料付付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
講座の内容
受講対象・レベル
IoT関連でセンサやアクチュエータの用途が高まっており、自社で新規なセンサやアクチュエータを開発したいと思っている方
趣旨
 富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。
プログラム
0.自己紹介

1.はじめに

 1-1. MEMSとは?
 1-2. 静電MEMS
  1-2-1. 圧電MEMS
  1-2-2. 静電MEMS VS 圧電MEMS
  1-2-3. MEMSのコストイメージ

2.圧電材料と成膜方法
 2-1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法~
 2-2. 圧電材料の種類と特徴
 2-3. 各社の圧電膜について
   2-3-1. Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
 2-4. 圧電膜の特性と適した応用先

3.スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
 3-1. 材料開発のコンセプト
 3-2. スパッタ法における材料開発のテクニック
 3-3. Nb-PZT膜の特徴
 3-4. 分極レスの特徴によるメリット

4. 圧電膜のMEMS応用
 4-1. 圧電MEMSのプロセスフロー
 4-2. インクジェットヘッドへの応用
 4-3. マイクロミラーへの応用
 4-4. 超音波利用素子への応用
 4-5. 振動発電素子への応用
 4-6. MEMSテーマの考え方

5. 終わりに

  □質疑応答・名刺交換□
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