非会員:
44,000円
(本体価格:40,000円)
会員:
41,800円
(本体価格:38,000円)
学生:
0
(本体価格:0)
44,000円 ( 会員受講料 41,800円 )
会員価格:1名につき 41,800円 2名の場合 44,000円、3名の場合 66,000円(税込)
【2名同時申込みで1名分無料!(1名あたり定価半額の24,750円)】
※2名様とも会員登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価の半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
0.自己紹介
1.はじめに
1-1. MEMSとは?
1-2. 静電MEMS
1-2-1. 圧電MEMS
1-2-2. 静電MEMS VS 圧電MEMS
1-2-3. MEMSのコストイメージ
2.圧電材料と成膜方法
2-1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法~
2-2. 圧電材料の種類と特徴
2-3. 各社の圧電膜について
2-3-1. Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
2-4. 圧電膜の特性と適した応用先
3.スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
3-1. 材料開発のコンセプト
3-2. スパッタ法における材料開発のテクニック
3-3. Nb-PZT膜の特徴
3-4. 分極レスの特徴によるメリット
4. 圧電膜のMEMS応用
4-1. 圧電MEMSのプロセスフロー
4-2. インクジェットヘッドへの応用
4-3. マイクロミラーへの応用
4-4. 超音波利用素子への応用
4-5. 振動発電素子への応用
4-6. MEMSテーマの考え方
5. 終わりに
□質疑応答・名刺交換□