非会員：
50,722円
（本体価格：46,111円）
会員：
48,176円
（本体価格：43,796円）
学生：
50,722円
（本体価格：46,111円）
49,800円 会員価格47,300円 ※資料代を含む
＜1名様分の受講料で2名様まで受講できます＞
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今後、持続可能な社会の実現、地球的規模の課題への対応にはIoT（internet of things）で代表される産業構造の高度化を推進する必要があります。MEMSはそのキーデバイスであり、益々重要な地位を占めることになります。また、毎年1兆個規模の大量のセンサを社会が消費し活用する近未来のセンサ社会を構成する「トリリオン・センサ（trillion sensor）」構想があります。これは現在のセンサ需要の100倍に当たります。この構想を実現するには、センサコストは現在の1／100とすることが望まれます。そこで、低コストで大量生産が得意なポリマー材料を用いたMEMSの登場が必須となります。これらの展望を本セミナーで皆さんと一緒に考えたいと思います。
1. MEMSの概論
1-1 MEMSとは
1-2 MEMS技術の開発推移
1-3 MEMSのこれまでの開発例紹介
2. MEMSの産業化の推移
2-1 MEMSの市場予測
2-2 ポリマーMEMSの産業化の展望
3. ポリマー材料の特徴
3-1 ポリマーとシリコンの材料特性の比較
3-2 ポリマーMEMSの開発のねらい
4. ポリマーMEMS製造技術
4-1 シリコン金型の製作技術
4-2 ポリマーMEMS製造プロセス
4-3 ポリマーMEMS製造プロセスの特徴
5. ポリマーMEMSの実証試作
5-1 静電駆動マイクロアクチュエータ
5-2 静電駆動マイクロミラーデバイス
5-3 熱電型マイクロアクチュエータ
5-4 容量型加速度センサ
6. バイオ技術への応用
6-1 バイオ検査デバイス試作例紹介
7. 信頼性試験
7-1 寿命試験
7-2 引張強度試験
8. ポリマーMEMS応用の展望
9. まとめ
