わかりやすいクリーンルーム総合講座
タイトル
クリーンルームの基礎から作業員管理，局所高清浄度域の確保・維持までを詳解！
わかりやすいクリーンルーム総合講座
～歩留まり向上のための改善ポイント～
通信教育概要
| 講座番号 | ce100701 |
| 講 師 | 新日本空調（株） 技術本部 技術企画部 部長代理 水谷 旬 氏 |
| 講師紹介 | 【専門】 クリーンルームに関する研究・開発全般（特に工業用クリーンルーム） 【資格】 エネルギー管理士，環境計量士（騒音・振動関係），ＴＯＥＩＣ７６５点． 【略歴】 １９８０年代より，主にクリーンルームに関する研究・開発に従事。 現在は、長年の成果品の情報整備と活用、技術営業、社内外教育、 学協会活動、講演、知的財産権管理等を行っている。 【学協会活動】 ・ＩＳＯ／ＴＣ国内委員会委員（日本空気清浄協会） 【著書・執筆】 ・「半導体製造装置用語辞典」（第4版）(1997)共著 ・「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」（第2版）(2003)共著 ・「――初心者のための――クリーンルーム入門 」(2005)共著 ・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第2版）」(2007)共著 ・「クリーンルーム通信教育」テキスト(2007) ・「微生物管理実務と最新試験法」第6章クリーンルームの浮遊塵埃数と空中浮遊菌の測定および環境管(2007) ・「クリーンルームの設計・施工マニュアル」(2008)共著 ・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第3版）」(2008)共著 ・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」(2009) ・「クラス10,000のクリーン管理 ――局所高清浄度域の確保と維持――」通信教育テキスト(2009) ・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第4版）」(2010)共著 |
開講日 | 平成22年7月1日開講 お申込受付中 月末締めで翌月の月初より開講します ご好評によりお申込受付期間延長しております。 |
受講料 | 1名につき31,500円（税込） ※同一法人より複数名での受講の場合、下記の割引を適用いたします。 〔2名受講の場合、1名につき26,250,円〕 〔3名以上受講の場合、1名につき21,000円〕 〔5名以上の場合は、1名につき18,900円〕 ※大学生、教員のご参加は、1名に付き受講料10,500円です。 ただし、企業に在籍されている研究員の方は除きます。 |
| スケジュール | |
1ヶ月目 (お申込翌月1日) | 第1講 テキスト配本 |
| 1ヶ月目 月末 | 第1講 演習問題回答締切（必着） |
| 2ヶ月目 月初 | 第2講 テキスト配本 |
| 2ヶ月目 中旬 | 第1講 添削結果と模範解答送付 |
| 2ヶ月目 月末 | 第2講 演習問題回答締切（必着） |
| 3ヶ月目 月初 | 第3講 テキスト配本 |
| 3ヶ月目 中旬 | 第2講 添削結果と模範解答送付 |
| 3ヶ月目 月末 | 第3講 演習問題回答締切（必着） |
| 4ヶ月目 中旬 | 第3講 添削結果・模範解答送付・修了書送付 |
| 講座の趣旨、ポイント、習得できる知識 | |
この通信講座では、クリーンルームに関する知識を総合的に高め、さらにその応用として、製品の歩留まり向上に結び付く様々な考え方（理論）とコツ（実践）のわかりやすい解説を通して、実務への即応力を身に付けることを第一の目的とする。 現在では、省エネのために、“必要な場所に、過不足のない清浄度レベルで”という要求があたりまえになってきている。しかし、製品廻りでこのような状態を確保・維持するにはどのようにすればよいのであろうか？ この課題に何らかの指針を与えてみたいと思う。 | |
講座の内容
第１講 クリーンルームの一般知識と実状
【第１講のポイント】
この第1講では、後に続く内容を理解するために、クリーンルームに関する重要な用語・事項を確認する。特に、クリーンルーム内の気流・塵埃の実状（流れ、発塵、拡散範囲）を見る。
これらは、第3講で出てくる”局所高清浄度域の確保と維持”に重要な関わりを持ってくる。
１．清浄度を再確認する
1-1 清浄度のイメージと定義
1-2 現実は不均一？
1-2 現実は不均一？
２．クリーンルームの種類
2-1 用途種類・空気の流し方による種類・構造による種類
３．クリーンルーム内の気流の実状
3-1 クリーンルーム内の気流
3-2 模擬製造装置廻りの気流
3-2 模擬製造装置廻りの気流
４．クリーンルーム内の塵埃・ミストの実状
4-1 基本的な性質（気流との関係，拡散範囲）
4-2 物や運動機構からの発塵
【演習問題】
4-2 物や運動機構からの発塵
【演習問題】
第２講 作業員の管理と教育，クリーンルームの清掃，国内外関連規格の動向
【第２講のポイント】
この第2講では、クリーンルームあるいはクリーンエリア内の主要発塵源の一つである人間（作業員）からの発塵機構を解明すると共に、その汚染防止の指針を探る。
また、クリーンスーツ・クリーン手袋・エアシャワーなどについて、正しい認識が持てるようにする。併せて、クリーンルームの清掃について解説する。さらに、国内外関連規格の最新動向についても言及する。
５．クリーンルーム内の作業員管理と教育
5-1 守るべき大原則
5-2 適正な着用
5-3 人の位置取り・適正な動作
5-4 管理・教育の要点／注意点
5-5 人からの発塵機構（内圧変動，摺動発塵，拡散範囲）
5-6 クリーンスーツの選定方法・洗濯頻度・劣化
5-7 クリーン手袋の扱い
5-8 エアシャワーの効果
5-2 適正な着用
5-3 人の位置取り・適正な動作
5-4 管理・教育の要点／注意点
5-5 人からの発塵機構（内圧変動，摺動発塵，拡散範囲）
5-6 クリーンスーツの選定方法・洗濯頻度・劣化
5-7 クリーン手袋の扱い
5-8 エアシャワーの効果
６．クリーンルームの清掃
6-1 清掃の種類
6-2 各部位の清掃方法･頻度・注意点
6-3 クリーンルーム運転停止時の塵埃挙動
6-2 各部位の清掃方法･頻度・注意点
6-3 クリーンルーム運転停止時の塵埃挙動
７．クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
7-1 ISO規格、JACA指針、JIS規格など。
表面清浄化のコンセプト、清浄化の対象範囲、汚染とその原因。
【演習問題】
表面清浄化のコンセプト、清浄化の対象範囲、汚染とその原因。
【演習問題】
第３講 局所高清浄度域の確保と維持（含，対策指針），その他
【第３講のポイント】
この第3講では、第1・2講で得た知識・知見に基づき、「局所高清浄度域の確保と維持」について解説する。
そして、歩留まり向上への対策指針と、製造環境の改善事例も示す。
最後に参考文献紹介を付す。
最後に参考文献紹介を付す。
８．局所高清浄度域の確保と維持
8-1 給排気バランスと流線の制御
8-2 クリーンベンチ内とその周辺気流の制御
8-3 異風速吹出し
8-4 垂直一方向流域と非一方向流域との境界（気流性状，塵埃拡散）
8-5 各種吹出口による気流性状，除塵能力
8-6 可搬式クリーンブースの clean up 特性
8-7 FFU吹出しゾーン内の清浄度確保と維持
8-8 室間差圧（気流性状，風速分布，塵埃拡散）
8-9 まとめ
8-2 クリーンベンチ内とその周辺気流の制御
8-3 異風速吹出し
8-4 垂直一方向流域と非一方向流域との境界（気流性状，塵埃拡散）
8-5 各種吹出口による気流性状，除塵能力
8-6 可搬式クリーンブースの clean up 特性
8-7 FFU吹出しゾーン内の清浄度確保と維持
8-8 室間差圧（気流性状，風速分布，塵埃拡散）
8-9 まとめ
９．さらなる清浄化への指針（対策）
9-1 微小塵埃／ミスト／気流を見える化（可視化）→ そして対策へ
9-2 普遍的な対策コンセプト
9-3 回避／除去／抑制の手順と考え方
9-4 汚染対策の要点 → 製品の歩留まり改善へ
9-2 普遍的な対策コンセプト
9-3 回避／除去／抑制の手順と考え方
9-4 汚染対策の要点 → 製品の歩留まり改善へ
１０．製造環境改善事例
10-1 模擬機器または作業台廻りの気流性状改善
10-2 クリーンベンチ奥の滞留解消
10-3 クリーンベンチ内テーブルの改善
10-4 狭い領域の清浄化
10-2 クリーンベンチ奥の滞留解消
10-3 クリーンベンチ内テーブルの改善
10-4 狭い領域の清浄化
11.参考文献
初級～上級者向けまで、主要なものを紹介。
【演習問題】
