1.スパッタリング法の基礎
1-1.スパッタリング法における物理現象
1-2.スパッタリング法の特徴、長所と短所
1-3.スパッタリング装置の基本的構成
1-4.スパッタリング膜の用途
2.スパッタリング薄膜形成技術
2-1.膜物性(機械的・光学的・電気的物性等)
2-2.物性とパラメータの間にあるもの
2-3.コンディションのあらゆる変動要因
2-4.膜の分析技術
2-5.ガス分析データの解析
2-6.望ましい物性を得るためのアプローチ
2-7.品質を安定させるための管理方法
2-8.複合膜・勾配膜による性能実現のポイント
3.微小欠陥への対処方法
3-1.微小欠陥の発生メカニズム
3-2.微小欠陥の検査・検出と集計の効率化
3-3.欠陥の解析による原因究明から対策までの流れ
3-4.欠陥の直接/間接的モニタリング
3-5.生産性と欠陥のトレードオフへの対応
4.膜の密着性・信頼性改善
4-1.剥離のメカニズム
4-2.密着性評価の各種手法
4-3.密着性改善のアプローチ
4-4.各種信頼性評価
5.生産性の向上
5-1.サイクルタイムの考え方と制約条件
5-2.スパッタ装置のメンテナンスサイクル
5-3.稼働率を見える化
5-4.稼働率を上げるための方法とポイント
5-5.打ち手の選択(作業負荷、改造コスト)
6.スパッタリング法のトラブルシューティング
6-1.うまく搬送できない
6-2.真空度が上がらない
6-3.ターゲットの利用効率が悪い
6-4.ターゲットからの発塵
6-5.メンテナンスの手間
6-6.外観異常(変色、シミ、シワ等)
6-7.過去より欠陥が増えた
6-8.面内ばらつき、ワーク間ばらつきが大きい
6-9.装置が壊れる
6-10.テスト結果が再現しない
7.その他
7-1.用途による装置の進化・発展の違い
7-2.インライン装置の特徴と性能を引き出すポイント
7-3.枚葉装置の特徴と性能を引き出すポイント
7-4.ロールtoロール装置の特徴と性能を引き出すポイント
7-5.装置仕様決定のステップと最重要項目
7-6.装置導入のための評価方法とチェックポイント
7-7.改造でできる事とできない事
7-8.遊休装置を復活させるときに押さえるポイント