低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法、各種材料（樹脂、金属、芽胞菌、細菌など）の表面処理技術の基礎と応用について分かりやすく解説！

プラズマによる表面処理技術の基礎と応用

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セミナー概要

略称

プラズマ表面処理

セミナーNo.

181233  

開催日時

2018年12月13日（木）10:30～16:30

主催

（株）Ｒ＆Ｄ支援センター

問い合わせ

Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム

開催場所

江東区産業会館　第5展示室

価格

非会員： 49,980円（税込）
会員： 47,250円（税込）
学生： 10,800円（税込）

価格関連備考

■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,980円（税込）から
　・1名で申込の場合、47,250円（税込）へ割引になります。
　・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,980円（2人目無料）です。
■ 会員登録とは？　⇒　よくある質問
■ 学生価格は、教職員や研究員、企業に在籍されている学生には適用されません。また、当日学生証をご持参ください。

備考

昼食・資料付

講座の内容

習得できる知識

・各種プラズマの生成法
・低圧および大気圧プラズマによる各種材料表面処理
・低圧および大気圧プラズマによるプラズマによる殺菌・滅菌処理技術
・プラズマ表面機能化ナノ微粒子を用いた環境、バイオ応用
　

趣旨

　近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種材料（樹脂、金属、芽胞菌、細菌など）の表面処理技術の基礎と応用について、分かりやすく解説する。また、講義では単なる一方向的な講義ではなく、受講者からの質問に対して、その都度答える双方向の講義としたい。
　　

プログラム

１．プラズマの生成と制御
　　1-1．プラズマの基本的性質
　　1-2．気体の絶縁破壊
　　1-3．プラズマ生成技術～低圧力から大気圧まで～
　　1-4．プラズマ計測技術

２．プラズマを用いた表面処理技術
　　2-1．エッチング
　　2-2．アッシング
　　2-3．プラズマＣＶＤ、ＰＶＤ
　　2-4．プラズマ表面粗化
　　2-5．プラズマ表面化学修飾
　　2.6．プラズマ滅菌

３．低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
　　3-1．マイクロ波プラズマについて
　　3-2．表面波プラズマと体積波プラズマについて
　　3-3．マイクロ波プラズマ実験装置
　　3-4．表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
　　3-5．体積波プラズマを用いた表面プロセスの例

４．低圧力ＲＦプラズマを用いた表面プロセス
　　4-1．ＲＦ放電プラズマについて
　　4-2．ＲＦ放電プラズマ装置
　　　　・容量結合型プラズマ装置
　　　　・誘導結合型プラズマ装置
　　4-3．ＲＦ放電プラズマを用いた表面プロセスの例

５．プラズマプロセスを用いた各種微粒子の作製と応用
　　5-1．微粒子の産業応用について
　　5-2．直流アーク放電による各種炭素被覆金属ナノ微粒子の作製
　　5-3．表面高機能化磁性体ナノ微粒子の環境応用（汚染水浄化等）
　　5-4．表面高機能化ナノ微粒子の医療応用（ウイルス、細菌高感度検出等）

６．大気圧プラズマを用いた表面プロセス
　　6-1．大気圧放電プラズマの特徴
　　6-2．誘電体バリア放電
　　6-3．大気圧プラズマジェット
　　6-4．直流アーク放電法による表面修飾ナノ微粒子の作製

７．大気圧放電プラズマを用いた各種プロセス
　　7-1．大気圧プラズマジェットによるポリイミド上への導電性銅薄膜堆積
　　7-2．大気圧プラズマジェットを用いたアルミ表面処理と樹脂密着性向上
　　7-3．バブルを利用した液相中大気圧プラズマについて
　　7-4．細線状大気圧誘電体バリア放電による管内滅菌
　　7-5．大気圧誘電体バリア放電を用いた樹脂包装容器内の滅菌
　　7-6．大気圧誘電体バリア放電を用いたフッ素樹脂材の表面修飾

８．まとめと今後の課題
 

キーワード

大気圧、低圧、プラズマ、生成、表面、処理、改質