1.リソグラフィの基礎
(1)リソグラフィーとは
(2)露光システムとリソグラフィー装置の変遷
2.レジスト材料とその高性能化
(1)パターンニング用レジスト材料(総論)
(2)G線、i線用レジスト
(3)KrF用レジスト
(4)ArFおよびArF液浸用レジスト
(5)EUV用レジスト
3.レジスト製造技術と品質管理
(1)レジスト製造技術
(2)レジストの性能安定化技術
(3)品質管理-その項目と方法
4.レジスト材料の評価技術
(1)性能評価
(2)品質評価
(3)シミュレーション技術
5.レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
(1)種々のトラブルとその解決策(材料面から)
(2)種々のトラブルとその解決策(プロセス面から)
(3)顧客対応の方法
6.20nm以下のリソグラフィー技術
(1)ダブルパターンニング技術
(2)DSA技術とその材料
(3)ナノインプリント技術
(4)今後のリソグラフィー技術
【質疑応答・名刺交換】