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レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】
~リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術~

※オンライン会議アプリZoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

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セミナー概要
略称
レジスト【WEBセミナー】
セミナーNo.
220688
開催日時
2022年06月20日(月) 10:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
価格
非会員:  55,000円 (本体価格:50,000円)
会員:  44,000円 (本体価格:40,000円)
学生:  55,000円 (本体価格:50,000円)
価格関連備考
会員の方あるいは申込時に会員登録される方は、受講料が1名55,000円(税込)から
 ・1名44,000円(税込)に割引になります。
 ・2名申込の場合は計55,000円(2人目無料)になります。両名の会員登録が必要です。
 ・10名以上で申込される場合は大口割引があります。
  お気軽にメールでご相談ください。info@rdsc.co.jp

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定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
持参物
受講にはWindowsPCを推奨しております。
タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーとなります。

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
【1】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
【2】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々(リーダークラスの方も歓迎です)
 
習得できる知識
・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力
プログラム

1. リソグラフィの基礎
 (1)リソグラフィーとは
 (2)露光システムとリソグラフィー装置の変遷
 (3)解像度向上技術とそれに必要な材料

2.レジスト材料とその高性能化
 (1)パターンニング用レジスト材料(総論)
 (2)G線、i線用レジスト
 (3)KrF用レジスト
 (4)ArFおよびArF液浸用レジスト
 (5)EUV用レジスト
 (6)後工程(実装材料)用のレジスト

3.レジスト製造技術と品質管理
 (1)レジスト製造技術
 (2)レジストの性能安定化技術
 (3)品質管理-その項目と管理方法

4.レジスト材料の評価技術
 (1)性能評価
   素材(樹脂、感光剤、添加物)やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
 (2)品質評価
   顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
 (3)シミュレーション技術

5.レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
 (1)素材(樹脂、感光剤、添加物)製造時のトラブル
 (2)レジスト製造時のトラブル
 (3)レジスト販売時のトラブル
 (4)レジスト使用時のトラブル
 上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。

6.20nm以下のリソグラフィー技術
 (1)ダブルパターンニング技術
 (2)DSA技術とその材料
 (3)ナノインプリント技術
 (4)今後のリソグラフィー技術

【質疑応答】

キーワード
レジスト,リソグラフィー,露光,トラブル,不良,問題,課題,対策,研修,講座,セミナー
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