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よくある質問
クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。
本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。
つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。
1.はじめに
2.クリーンルームの概要
・クリーンルームとは
・非一方向流と一方向流の違い（動画による比較）
・クリーンルームの指針や規格
・清浄度の決定・計算方法
・計画の留意点
3.クリーンルームの気流制御・局所化
・汚染物質の特性と挙動（微粒子、微生物）
・気流制御の要点（動画による解説）
・吸込口の位置影響
・グレーチングの効果
・局所化の実施例
4.クリーンルームの維持管理
・モニタリング（気流の可視化方法や測定例を動画により紹介します）
・ワースポイントの調査方法
・作業者の管理、発塵源（マスク装着時の飛沫飛散状況など動画やデータで説明します）
・クリーンルームの清掃
5.クリーンルームあれこれ
・知っていますか？空気清浄技術士とは
・静電気対策（コロナ放電式イオナイザからの発塵対策も含みます）
・よくある失敗例
・その他
≪質疑応答≫
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