知らなかったでは済まない。事故が起きてからでは遅い。防げる事故・失敗をきちんと防ぐための必修知識を提供。さらには真空材料やその加工、真空機器と部品、真空システムの設計から運転保守まで、より効率的に稼働させるために必要な知識を補強
１．基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす！
1.1 基礎の無理解が引き起こした真空作業の大事故例
| この章の主なキーワード ・MRIや液体窒素容器などの爆発事故例 ・事故時の担当者に欠けていた基礎物理を確認する問題例 ・リスクマネジメントとハインリッヒの法則 |
| この章の主なキーワード ・真空容器内のガス分子 ・真空度と分子密度 ・気体の流れの分類 ・気体の速度分布 ・気体分子の平均自由工程 ・気体分子の入射頻度 ・真空の領域区分 ・有効排気速度とコンダクタンスの合成 ・真空排気を邪魔する５つのガス源 ・排気の方程式 ・理想的な真空表面 ・表面への気体の入射頻度と吸着 ・表面における気体の滞在時間と脱離 |
| この章の主なキーワード ・真空材料に必要な諸特性 ・SUS304と316の違いと使い分け ・真空用マシーナブル・セラミックス ・真空用エンジニアリング・プラスチック ・真空材料の機械加工法・接合法 ・部品の接合、表面処理、リークテストの順序 ・実用表面の初期状態と加工変質層 ・真空機器の洗浄と表面処理 ・真空機器加工発注時の重要なポイント |
| この章の主なキーワード ・丈夫で長持ち、油回転ポンプ ・製品の油汚染に要注意、油拡散ポンプ ・ポンプ寿命に気を付けよう、ドライポンプ ・オイルフリーポンプのキャッチコピーを疑え！ ・多様化で選択肢が増えたターボ分子ポンプ ・真空計の校正は？ ・汚染される程、良い真空度！ ・ポンプと真空計の最新トレンド |
| この章の主なキーワード ・真空装置設計上の一般的検討項目と装置固有の検討項目 ・真空容器の機械的強度 ・恐ろしい擬似リーク ・時間を無駄にしないリークテスト法 ・真空機器が出すノイズ、貰うノイズ ・真空計では測れないダストパーティクル ・少ないトラブルに必要な人間工学的設計 ・思った以上に気体が通り易いエラストマー ・間違っているのを知らずに汚染を進めている、ポンプの起動 |
６．まとめ