2019年07月22日（月）
10:30～16:30
Tel：03-5857-4811 E-mail：info@rdsc.co.jp
問い合わせフォーム
非会員：
49,500円
（本体価格：45,000円）
会員：
47,025円
（本体価格：42,750円）
学生：
49,500円
（本体価格：45,000円）
48,600円 (会員受講料 46,170円 )
定価：本体45,000円＋税3,600円
会員：本体42,750円＋税3,420円
【2名同時申込みで1名分無料！（１名あたり定価半額の24,300円）】
※2名様とも会員登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価の半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
※資料・昼食付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
力学的性質の測定の仕方、信頼性の高い密着性の測定方法を学びます。とくにスクラッチ法については、その注意点とエッセンスが身に付きます。
薄膜の密着性を改善するためには気をつけるべきことがいくつかあります。界面の特性をどれだけよくすれば効果が出るのか、費用対効果の問題でもあります。また、密着性は破壊試験であって、損傷のメカニズムによって臨界値が変わること、強弱が逆転することさえあることは意外と知られていません。
自分で密着性の測定を行うに当たって特に注意するべき点を紹介します。現状では、他人のデータ（他の装置の結果）をそのまま利用することは難しい。密着性と関係が深い内部応力などの性質や、そうした力学的性質を通して膜の壊れ方の多様性、ひいては良質の膜をつくる技術を学びます。
１．膜内の応力
1.1 熱応力と真性応力～固体薄膜の力学
1.2 マクロな変形とStoneyの式
1.3 ミクロな測定技術～ラマン分光、薄膜X線回折
1.4 内部応力を下げればよいか？（多層化、端面構造）
1.5 結晶配向性も影響する
1.6 硬さと靭性（どこまで耐えられるか）の問題
1.7 超微小硬さ測定～構造欠陥と硬さ
1.8 ハードコーティングは耐腐食性
２．薄膜の密着性
2.1 表面エネルギー（表面張力）と付着
2.2 密着性とは（剥離損傷・耐久性・寿命）
2.3 機械的密着性の測り方とそのポイント
ピール、プル、スクラッチ、インデンテーション
2.4 故障解析からの密着性評価（着眼点とワイブル分布）
2.5 密着性を改善する手段～特にプラズマ援用技術
2.6 異種材料接合部の力学（ Dundurs の基準）
３．スクラッチ試験 ～振動式マイクロスクラッチ試験
3.1 圧子荷重・せん断応力・界面エネルギー
3.2 試験条件および再現性と信頼性
3.3 スクラッチの物理と破壊力学・刺激部の深さ変化
3.4 光学薄膜と振動式スクラッチ試験 JIS R3255
3.5 他の密着性試験との相関（臨界損傷の違い）
3.6 軟質膜および粘性膜への応用
４．窒化チタン膜の製膜技術の発展
4.1 製膜技術と薄膜構造
4.2 注目すべき大電力スパッタリング技術
□質疑応答・名刺交換□
