1.IC製造の全体の流れ
前工程(ウエハー工程) ~後工程(組立工程) ~回路基板搭載 ~ 電子部品組立
2.前工程と関連材料
2.1 前工程の流れ
ウエハー ~ IC加工(トランジスタ/回路) ~切断
2.2 ウエハー製造
2.2.1 原料製造: 石英(結晶シリカ) ~ 精製(シラン) ~ ポリシラン
2.2.2 ウエハー製造: 再結晶 ~ インゴット ~ 切断
2.2.3 加工設備および製造会社: 精製プラント/再結晶・引上げ、切断、洗浄、他
2.2.4 工程部材および製造会社: 石英ルツボ(高純度石英)
裏面粗化用シリカ、工程テープ(DAF:フィルム/粘着剤)、洗浄剤、他
2.3 トランジスタ形成および回路加工
2.3.1 リン注入
2.3.2 電極および配線加工
{絶縁加工~平坦化 ~ レジスト塗布剥離 ~ アルミ蒸着 ~ レジスト・エッチング}n ~ パッド形成
2.3.3 加工設備および製造会社: CVD,研磨(CMP等)、塗布,露光、剥離、他
2.4 工程材料および製造会社: シラン、酸素、コロイダルシリカ、レジスト、剥離剤、洗浄剤、保護膜、他
3.後工程と関連材料
3.1 後工程の流れ: パッケージング
IC個片(チップ)~組立加工(搭載・結線・封止) ~ PKG ~ (切断/MAP)
3.2 組立加工(アッセンブリー)
3.2.1 搭載方法: 接続用基板(リードフレーム/子基板)
3.2.2 結線方法: 金線/半田ボール、再配線
3.2.3 封止方法:気密封止、樹脂封止
3.3 加工設備および製造会社: 搭載機(マウンター)、加熱機、結線機(ボンダー)、成形機、切断機、他
3.4 工程材料および製造会社: マウント剤(Au・Si/Ag/半田)、金線、ソルダーレジスト、剥離剤、洗浄剤
封止材料(固形/液状)、他
4.回路基板と関連材料
4.1 回路基板の種類: 子基板(接続用基板)、母基板(PKG搭載用基板)
4.2 回路基板製造の流れ: 銅箔・基材 ~ 中間製品(プリプレグ) ~ 回路基板 ~ 回路加工
4.3 加工設備および製造会社: 塗布機、熱圧着機、露光機、切断機、他
4.4 工程部材および製造会社: 銅箔、支持体(例:ガラスクロス)、耐熱性フィルム(例:ポリイミド)
絶縁接着剤、レジスト、剥離剤、洗浄剤、他
5.電子部品組立と関連材料
5.1 電子部品組立の流れ
IC・電子部品 ~ 基板搭載 ~ 基板部品+他部品 ~ 簡体保護
5.2 加工設備および製造会社: 搭載機、半田仮止め、半田再溶融(リフロー)、他
5.3 工程部材および製造会社: 工程テープ、半田、他
6.その他
□ 質疑応答□