2021年04月23日（金）
10:30～16:30
Tel：03-5857-4811 E-mail：info@rdsc.co.jp
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非会員：
35,200円
（本体価格：32,000円）
会員：
33,440円
（本体価格：30,400円）
学生：
35,200円
（本体価格：32,000円）
定 価 ：1名につき 35,200円（税込）
会員価格：1名につき 33,440円 2名の場合 49,500円、3名の場合 74,250円（税込）
※上記会員価格は受講者全員の会員登録が必須となります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
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※他の割引は併用できません。
※資料
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
・製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催日の４～５日前に発送します。
※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
【ZoomによるLive配信】
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・お申し込み後、接続確認用URL
（https://zoom.us/test）にアクセスして接続できるか等ご確認下さい。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
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・タブレットやスマートフォンでも視聴できます。
産官学の関連分野の研究開発ご担当の方々
平面型ディスプレイ、太陽電池等の研究開発、製造等の方々
真空プロセス関連の研究、開発、製造、企画等のご担当の方々
ガラス基板、セラミックスターゲット等の研究、開発、製造、企画等のご担当の方々
透明導電膜・透明酸化物半導体は、液晶、有機EL等のフラットパネルディスプレーやタッチパネルおよび太陽電池等の環境技術分野において極めて重要な材料であり、近年種々の注目を集めています。特に、ITO代替の透明電極材料の研究開発、新しい有機エレクトロニクス分野への透明電極の適用のための研究開発は、極めて重要であると考えられてきています。
この透明導電膜に関して、基礎から応用、成膜方法に関する最新の研究開発成果等に関して、透明酸化物半導体であるIGZOも含めて総合的に解説します。
１．透明導電膜を含む機能性酸化物薄膜に関する基礎
1.1 様々な透明導電膜とその特性
（酸化インジウム系、酸化亜鉛系、酸化錫系透明導電膜）
（アモルファス酸化インジウム－亜鉛透明導電膜）
1.2 種々の透明導電材料に関する最新の話題
1.3 機能性酸化物薄膜に関する最新の話題
２．透明導電膜の成膜方法
2.1 スパッタ成膜法等、成膜プロセスの基礎
2.2 高速成膜に関する最新の話題
2.3 反応性スパッタリングの基礎と応用
３．新規透明導電材料の可能性
3.1 透明導電膜開発のストラテジー
3.2 3元系透明導電膜に関する最新の話題
４．IGZOや酸化亜鉛系、酸化錫系透明導電膜の新しい展開
５．まとめ
（製膜プロセス、構造・物性解析法等に関する詳細に関しても解説いたします。）
□質疑応答□
