「難しい」とよく言われる洗浄技術を総合的に解説
洗浄を「見える化」し、洗浄界面で何が起こっているのかを把握する
その場しのぎではない、洗浄プロセスの確立と不良・トラブル対策を目指して
不良が出た際にまずやるべきこと、陥りがちな行動とは
汚れ、基材、洗浄液と洗浄装置の関係を良好にして、洗浄不良の対策・未然防止、高品質洗浄プロセスを構築しよう
１．洗浄の基礎
1.1 汚れの種類
1.2 洗浄方法選択のポイント
・洗浄方法の適正
・設備上の制約
２．湿式洗浄の除去メカニズム
2.1 ５つの基本工程と３つの除去メカニズム
2.1.1 濡れ
2.1.2 除去
・剥離、エッチング
・溶解
・分解
2.1.3 分散
・再付着防止
2.1.4 排出（リンス）
2.1.5 乾燥
2.2 水系洗浄
2.2.1 洗浄剤について
・DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
・界面活性剤と酸、アルカリの働き
・電位-pH図応用によるエッチング
2.2.2 排出（リンス）
・PIV応用による排出効率向上
2.2.3 乾燥
2.3 準水系洗浄
2.3.1 洗浄剤について
・ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
2.3.2 排出（リンス）
2.3.3 乾燥
2.4 非水系洗浄
2.4.1 洗浄剤について
・ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
2.4.2 排出（リンス）
2.4.3 乾燥
2.5 装置、治具
2.5.1 超音波＆メガソニック洗浄
・異物大きさと周波数の目安
2.5.2 その他の機械力印加洗浄
・スクラブ
・ジェットスプレー
・二流体シャワー
2.5.3 治具
３．乾式洗浄の除去メカニズム
3.1 減圧プラズマ
3.2 大気圧プラズマ
3.3 UV、オゾン
3.4 レーザー
3.5 アイス、ドライアイス、エアロゾル
４．（乾式+湿式）洗浄の除去メカニズム
4.1 アッシング→熱硫酸
4.2 UV→オゾン水
4.3 オゾンガス→水洗浄
５．設備
5.1 純水製造
5.2 排水、排ガス処理
６．洗浄不良と対策
6.1 洗浄液選定起因の不良
6.2 洗浄液管理起因の不良
6.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
6.4 純水起因の不良
6.5 乾式洗浄での再デポ起因の不良
6.6 UV管理起因の不良
6.7 不良対策方法
７．現場でできる簡易の品質評価方法
7.1 製品
7.2 洗浄液
7.3 純水
7.4 洗浄装置
８．高品質洗浄への取り組み
8.1 湿式洗浄
・５つの基本工程の評価と改善（濡れ、除去、分散、排出、乾燥）
・超音波洗浄の改善
・機能水洗浄
8.2 乾式洗浄
・反応メカニズムの評価と改善
・装置構成
8.3 洗浄工程の管理方法
・日々の記録・解析
・装置（純水製造装置、洗浄装置）の管理注意点
□質疑応答□