1. ホーム
  2. セミナー
  3. スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策【WEBセミナー】

トラブルへの的確な対応や薄膜の品質向上、薄膜プロセスの設計・選択・制御に向けて！

スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策【WEBセミナー】
～各現象やプロセス、不具合の原因、最近の技術動向等の理解を深めて使いこなす力を養う～

※本セミナーの講演時間が変更になりました（5/24更新）
【13:00-16:30】　→　【13:30-16:30】　

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
スパッタリング【WEBセミナー】
セミナーNo.
st220507
開催日時
2022年05月31日（火） 13:30～16:30
主催
サイエンス＆テクノロジー（株）
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　
価格
非会員：  35,200円 （本体価格：32,000円）
会員：  33,440円 （本体価格：30,400円）
学生：  35,200円 （本体価格：32,000円）
価格関連備考
定　価　：1名につき 35,200円（税込）
会員価格：1名につき 33,440円　2名の場合 44,000円、3名の場合 66,000円（税込）

※上記会員価格は受講者全員の会員登録が必須となります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※他の割引は併用できません。
※セミナー請求書は代表者のメールアドレスにPDFデータを添付しお送りいたします。
備考
※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
　PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
・お申し込み後、接続確認用URL（https://zoom.us/test）にアクセスして接続できるか等ご確認下さい。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
講座の内容
受講対象・レベル
予備知識は必要としない。スパッタリング技術の初心者・初級者も対象と考える。
趣旨
　スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料（ターゲット）が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装置などを必要とせず、比較的簡便に取り扱うことができる。しかしながら、スパッタリングは、真空、プラズマ、電磁場、原子分子の衝突・拡散、化学反応など、いずれも目に見えない現象により成り立っているため、設備およびプロセスの設計や制御の根拠となるものを掴みにくく、経験や実験的アプローチに頼らざるを得ないという側面も持っている。
　本講演では、スパッタリング技術の基礎となる真空とプラズマについて詳細に解説する。実際の工程で生じることが多い不具合の事例として、異常放電、密着力不足、残留応力等を取り上げ、その原因と対策について述べる。今後ますます重要になるであろうシミュレーション手法や、最近の技術動向などについても紹介する。
プログラム

１．はじめに　趣旨説明
 
２．スパッタリングの基礎（１）真空
　2.1 真空とは
　2.2 クリーン化技術
 
３．スパッタリングの基礎（２）プラズマ
　3.1 プラズマとは
　3.2 低圧非平衡プラズマ
　3.3 大気圧非平衡プラズマ
　3.4 大気圧熱平衡プラズマ
 
４．スパッタリングの種類と特徴
　4.1 直流マグネトロンスパッタリング
　4.2 高周波マグネトロンスパッタリング
　4.3 反応性スパッタリング
　4.4 対向ターゲット式スパッタリング
　4.5 ロータリーターゲット式スパッタリング
　4.6 パルススパッタリング（HiPIMS）
 
５．スパッタリングの素過程
　5.1 スパッタリング
　5.2 輸送過程
　5.3 付着・拡散過程
 
６．薄膜の評価
　6.1 結晶性評価
　6.2 膜厚評価
　6.3 光学的特性評価
　6.4 応力評価
　6.5 付着力評価
 
７．スパッタリングに関するシミュレーション
　7.1 磁場
　7.2 プラズマ
　7.3 輸送過程
 
８．応用事例
　8.1 光学薄膜
　8.2 圧電薄膜
　8.3 その他応用事例
 
９．スパッタリング工程における不具合の原因と対策例
　9.1 膜厚均一性の向上
　9.2 薄膜の剥離対策
　9.3 プラズマ放電の安定化
　9.4 その他の不具合の原因と対策
 
１０．最新の技術動向
 
１１．まとめ

　□質疑応答□

関連するセミナー
関連する書籍
関連するタグ
フリーワード検索
カテゴリ別検索
カテゴリ別検索