非会員：
51,000円
（本体価格：46,364円）
会員：
48,500円
（本体価格：44,091円）
学生：
51,000円
（本体価格：46,364円）
51,000円 (Eメール案内希望価格：1名48,500円，2名51,000円，3名73,000円）
※資料付
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★1名で申込の場合、48,500円
★2名同時申込の場合は、2名様で51,000円(2人目無料)
★3名同時申込の場合は、3名様で73,000円
★4名以上同時申込の場合は、3名様受講料＋3名様を超える人数×20,000円
※2名様以上の同時申込は同一法人内に限ります。
※2名様以上ご参加は人数分の参加申込が必要です。
ご参加者のご連絡なく2名様以上のご参加はできません。
圧電薄膜バルク波共振子（FBAR）や弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、FBARは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタや第5世代用高周波フィルタが要求されるなど、ますますFBARやSAWフィルタへの期待が高くなっている。
講演者は、村田製作所入社後、圧電セラミックを用いたエネルギー閉じ込め型バルク波共振子・フィラタ(BAW)の開発やSAWフィルタの開発を担当。テレビ・映像中間周波数用SAWフィルタの開発後には、その実用化のため11年間、製造現場に従事して、その実用化に成功した。その後、異動した開発部門では、高品質なZnO薄膜の開発や、上述の経歴に記載のように多くの特徴ある世界初の移動帯通信用SAWデバイスの開発・実用化に成功した。東北大に異動後は、ラム波や横波型板波を用いた、高周波デバイスや超広帯域なデバイスの研究、圧電薄板と水晶基板を用いた高Q、ゼロTCF、スプリアスフリーのデバイスに開発に成功している。本講演者は、このように、BARや良質なZnO膜の開発に加え、SAWの研究の黎明期から現在に至るまで、SAWの開発・実用化・製造に取り組んできている。これらの経験を活かし、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、BAWやSAWの種類や励振方法、それらに適した材料、それらを応用したFBARやSAW共振子、ラダーフィルタへの原理・構成方法、実用化成功の秘訣、今後のFBARやSAWの技術の動向などについて講演する。
1. 弾性体の基礎
1-1 弾性体の結晶構造
1-2 歪と応力の関係
1-3 弾性定数
(スチッフネス、コンプライアンス、（ポアソン比、ヤング率）)
1-4 運動方程式
1-5 弾性体の縦波音速、横波音速は何に依存している、どのように求める
2. 圧電体とは
2-1 圧電現象
2-2 圧電方程式（圧電定数）
2-3 結晶構造のおける圧電定数の違い
2-4 電気機械結合係数
3. BAWとFBAR
3-1 バルク波（BAW）とは
3-2 厚みすべり振動とは
3-3 厚み縦振動とは
3-4 FBAR用材料
3-5 成膜方法
3-6 BAWやFBARの厚み振動共振子の周波数は何で決まる
3-7 厚み振動共振子の帯域は何で決まる
3-8 エネルギー閉じ込め振動とは
3-9 キャビティ構造とSMRの違いは
4. 共振子とラダーフィルタ
4-1 共振子
4-2 ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
4-3 スミスチャート、動アドミタンス特性
4-4 共振周波数、反共振周波数とは
4-5 電気機械結合係数
4-6 Qとは
4-7 等価回路
4-8 2重モードフィルタとは
4-9 ラダーフィルタとは
4-10 フィルタの帯域は
4-11 帯域は何に依存する
4-12 高周波化するには
5. SAW
5-1 SAWとは
5-2 SAWとBAWの違い
5-3 SAWの励振
5-4 SAWの種類
5-5 レイリー波
5-6 漏洩弾性波
5-7 縦波型漏洩弾性波
5-8 セザワ波
5-9 BGS波
5-10 ラブ波
5-11 層状構造弾性波
5-12 境界波
6. 板波
6-1 板波とBAWやSAWとの違いは
6-2 ラム波と横波型（SH型）板波
6-3 LiNbO3やLiTaO3薄膜を用いたデバイスの例
7. SAWの解析方法
7-1 Campbell－Joneの方法
8. SAW用材料
8-1 セラミック（PZT等）
8-2 薄膜（ZnO等）
8-3 単結晶（LiTaO3,LiNbO3,水晶、LBO,ランガサイト等）
9. SAW共振子
9-1 SAW共振子の原理
10. SAWフィルタの種類
10-1 トランスバーサル型フィルタ
10-2 縦波型共振子フイルタ
10-3 横波型共振子フィルタ
10-4 ラダーフィルタ
11. 実用化に成功するために
12. 今後の動向
12-1 高周波化
12-2 広帯域化
12-3 他
【質 疑 応 答】
