ホーム > セミナー > 低コスト・高機能なポリマーMEMSの研究開発動向と応用展開【大阪開催】

MEMSの技術動向や製作例を紹介し、実用化に重要な信頼性試験結果をもとにしたポリマーMEMS技術の展望を推測する。

低コスト・高機能なポリマーMEMSの研究開発動向と応用展開【大阪開催】

セミナー概要

略称
ポリマーMEMS【大阪開催】
セミナーNo.
開催日時
2017年02月09日(木)10:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
大阪市立中央会館 2F 第4会議室
講師
立命館大学 総合科学技術研究機構 客員教授 博士(工学) 杉山 進 氏

■略歴
 1965~1995(株)豊田中央研究所 所属
  半導体圧力センサの集積化技術、マイクロプロセス技術、MEMSの研究開発に従事。この間シリコン研究室室長、デバイス開発室室長を歴任
 1995~現在 立命館大学 所属
  理工学部教授(1995~), COE推進機構教授(2007~), 立命館グローバル・イノベーション研究機構教授(2008~), 総合科学技術研究機構客員教授(2015~)
  マイクロシステム工学の教育およびシンクロトロン放射光リソグラフィー、マイクロセンサ、MEMS、ポリマーMEMSの研究開発に従事
 2009~2011 日本学術振興会(JSPS)科学研究員/国際協力機構(JICA)専門家スリランカ派遣、ナノテクノロジー、MEMS研究拠点形成業務に従事
 2013~現在 一般社団法人産業科学技術研究支援機構 代表理事
 2015~現在 東京大学 IRT研究機構 特任研究員

■学会活動
 エレクトロニクス実装学会理事(2007~2009),常務理事(2009~2011)
 電気学会理事・センサ・マイクロマシン部門長(2008~2010), フェロー(2011~)
 応用物理学会正員、日本ロボット学会正員、日本機械学会正員

■主な受賞
 1992 日刊工業新聞社 第8回技術・科学図書文化賞優秀賞
 2000 電気学会 優秀技術活動賞 特別賞
 2002, 2003, 2008 Best Paper Award, IEEE International Symposium on Micromechatronics and Human Science
 2004 文部科学大臣賞 研究功績者表彰
 2012 電気学会 業績賞
価格
非会員: 49,980円(税込)
会員: 47,250円(税込)
学校関係者: 10,800円(税込)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,980円(税込)から
 ★1名で申込の場合、47,250円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,980円(2人目無料)です。
学校関係者価格は、企業に在籍されている研究員の方には適用されません。

■ 会員登録とは? ⇒ よくある質問
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
昼食・資料付

講座の内容

受講対象・レベル
 センサ、電子デバイス、化学材料・プラスチック材料・加工メーカーなどの技術者・研究者
 
習得できる知識
 今後、持続可能な社会の実現、地球的規模の課題への対応にはIoT(internet of things)で代表される産業構造の高度化を推進する必要があります。MEMSはそのキーデバイスであり、益々重要な地位を占めることになります。また、毎年1兆個規模の大量のセンサを社会が消費し活用する近未来の「トリリオン・センサ(trillion sensor)」構想があります。これは現在のセンサ需要の100倍に当たります。この構想を実現するには、センサコストは現在の1/100とすることが望まれます。そこで、低コストで大量生産が得意なポリマー材料を用いたMEMSの登場が必須となります。これらの展望を本セミナーで皆さんと一緒に考えたいと思います。
 
趣旨
 環境に優しいポリマー材料を用い、そのしなやかさ熱膨張特性を利用し可動部を有するマイクロセンサやアクチュエータの製作が可能となりました。製造プロセスはこれまでの半導体プロセスに比べ低い設備投資で、MEMS産業への参入障壁が低くなると期待されます。本セミナーではMEMSの技術動向、ポリマーMEMSの製作例を紹介すると共に実用化に重要な信頼性試験結果を示します。これらの結果をもとにポリマーMEMS技術の展望について眺めてみたいと思います。
 
プログラム
1.MEMSの概論
 1-1 MEMSとは
 1-2 MEMS技術の開発推移
 1-3 MEMSのこれまでの開発例紹介
2.MEMSの産業化の推移
 2-1 MEMSの市場予測
 2-2 ポリマーMEMSの産業化の展望
3.ポリマー材料の特徴
 3-1 ポリマーとシリコンの材料特性の比較
 3-2 ポリマーMEMSの開発のねらい
4.ポリマーMEMS製造技術
 4-1 シリコン金型の製作技術
 4-2 ポリマーMEMS製造プロセス
 4-3 ポリマーMEMS製造プロセスの特徴
5.ポリマーMEMSの実証試作
 5-1 静電駆動マイクロアクチュエータ
 5-2 静電駆動マイクロミラーデバイス
 5-3 熱電型マイクロアクチュエータ
 5-4 容量型加速度センサ
6.バイオ技術への応用
 6-1 バイオ検査デバイス試作例紹介
7.信頼性試験
 7-1 寿命試験
 7-2 引張強度試験
8.ポリマーMEMS応用の展望
9.まとめ
【質疑応答・名刺交換】
 
キーワード
ポリマー,MEMS,マイクロ,アクチュエータ,デバイス,センサ,バイオ,信頼性,研修,講座

関連するセミナー

関連する書籍・DVD

関連するタグ