★レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術について経験豊富な講師が徹底解説！
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１． リソグラフィの基礎
（１）リソグラフィーとは
（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
（３）解像度向上技術とそれに必要な材料
２．レジスト材料とその高性能化
（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
（２）G線、i線用レジスト
（３）KrF用レジスト
（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
（５）EUV用レジスト
（６）後工程（実装材料）用のレジスト
３．レジスト製造技術と品質管理
（１）レジスト製造技術
（２）レジストの性能安定化技術
（３）品質管理－その項目と管理方法
４．レジスト材料の評価技術
（１）性能評価
素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
（２）品質評価
顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
（３）シミュレーション技術
５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
（１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル
（２）レジスト製造時のトラブル
（３）レジスト販売時のトラブル
（４）レジスト使用時のトラブル
上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。
６．20nm以下のリソグラフィー技術
（１）ダブルパターンニング技術
（２）DSA技術とその材料
（３）ナノインプリント技術
（４）今後のリソグラフィー技術
【質疑応答】