≪基礎編≫
１．スパッタリング法の基礎
1-1．薄膜の基本を押さえよう
1-2．スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
1-3．スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
1-4．スパッタリング装置の構成を把握しよう
1-5．スパッタリング工程の運用と管理について
２．スパッタリング法の物理現象
2-1．物理現象を把握することの重要性
2-2．スパッタリングの物理現象1（プラズマ放電）
2-3．スパッタリングの物理現象2（スパッタリング）
2-4．スパッタリングの物理現象3（組織形成）
2-5．スパッタリングのパラメータを整理しよう
３．スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3-1．スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3-2．膜厚・形状の評価方法とポイント
3-3．各種特性評価の方法とポイント
3-4．元素・状態分析の方法とポイント
3-5．結晶構造評価の方法とポイント
3-6．機械的性質・密着性評価の方法とポイント
≪応用編≫
４．スパッタリング薄膜の特性安定化
4-1．特性実現と特性安定化という2つの課題
4-2．特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
4-3．プロセスのばらつき・変動要因について
4-4．プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
4-5．スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
4-6．特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
５．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
5-1．薄膜の密着と剥離のメカニズム
5-2．剥離解析からの原因追究のポイント
5-3．信頼性評価・・密着性、機械的強度、各種試験
5-4．スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
5-5．密着性トラブルシューティング 事例と対策
６．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6-1．スパッタリング薄膜の欠陥モード
6-2．スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6-3．ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6-4．変色・しわ・しみの原因究明と対策
6-5．外観トラブルシューティング 事例と対策
７．スパッタリング工程の生産性改善
7-1．スパッタリング工程の原価を把握しよう
7-2．スパッタリング工程のコスト改善手法
7-3．スパッタリング工程の運用体制と稼働率
7-4．スパッタリング工程の稼働率改善法
7-5．メンテナンスを安全化しよう
7-6．生産性改善アプローチの事例