半導体正常における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説!
1.「流れる」とは
1-1.半導体洗浄の要素を成す基礎現象(流れ、熱、拡散)
1-2.基礎現象の法則
2.「流れ」の感覚を掴む
2-1.流れの可視化実験(実演+映像)
2-2.流れの種類(循環流れ、一方向流れ)
3.枚葉式洗浄機の流れと反応
3-1.流れの可視化観察方法と例
3-2.流れの計算
3-3.表面反応の解析例
4.バッチ式洗浄機の流れ
4-1.流れの可視化観察方法と例
4-2.ノズル設計の視点
4-3.排出設計の視点
4-4.検証方法
5.まとめ:半導体洗浄方法と洗浄装置の考え方