2021年01月20日（水）
12:30～16:30
Tel：03-5857-4811 E-mail：info@rdsc.co.jp
問い合わせフォーム
非会員：
49,500円
（本体価格：45,000円）
会員：
46,200円
（本体価格：42,000円）
学生：
49,500円
（本体価格：45,000円）
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
★1名で申込の場合、46,200円（税込）へ割引になります。
★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。
■会員登録とは？ ⇒
よくある質問
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
１）Zoomを使用されたことがない方は、
こちらからミーティング用Zoomクライアントを
ダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
２）
セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたに
ついては
こちらをご覧ください。
３）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始
10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加
ください。
・セミナー資料は開催前日までにPDFデータにてお送りいたします。
無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
半導体洗浄業務にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方。
新人を指導する立場にある半導体洗浄技術マネージャー
半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者・研究者。
半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者・研究者。
その他、先端洗浄で困った時の要点を知りたい技術者。
特に予備知識は必要ありません。基本になる予備知識（流れの基礎）から解説します。
半導体洗浄に関わる以下の知識と手法が得られ、洗浄時間と効果の向上に活かせます。
・化学工学の基礎（工業生産プロセスの主要要素を成す流れ・熱・拡散などの考え方）
・流れの実感（簡易可視化実験（実演））
・液体の流れを見抜いて使う考え方
・流れの改善により工程短縮、品質向上、などを進める方法
・プロセスの限界を見極め、それを乗り越えるための考え方
半導体洗浄に関わる基礎知識と手法について解説します。湿式の洗浄は、汚れを（1）薬液や超音波などにより表面から引き剥がし、（2）「流れ」により運び去ること、によって行われます。即ち、洗浄の主要素の一つは、「流体（液体）の動き」です。流れは難解に思われがちですが、流れを正面から捉えて、方法の理解、課題の発見、解明、解決と改善に結びつける方法を知れば、その効果は著しいはずです。そこで本セミナーでは、予備知識として流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則から説明します。そして、流れの可視化実験の実演を通して、流れの見方を説明し、容器内の流れの様子を説明します。次に、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れについて可視化観察例と計算例を紹介し、流れの特徴と問題点を考察します。特に、実際の水の動き、その水流のもとで進行する化学反応、理想的な水の動きとは何か、それを簡便に創り出す方法、そして、困った時の考え方について詳述します。
1．洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？
2．一般の洗浄（洗浄の４要素:温度、時間、化学、力学）
3．半導体の洗浄に特有のこと
4．先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）
5．半導体洗浄の基礎現象（化学工学）
5-1. 表面（付着・脱離・引き剥がす）
5-2. 流れ、熱、拡散、反応、境界層
(1) 半導体洗浄の要素を成す基礎現象（流れ、熱、拡散）
(2) 基礎現象の法則
5-3. 装置内流れの種類
6．「流れ」の感覚を掴む
6-1．流れの可視化実験（実演＋映像）
6-2．流れの種類（循環流れ、一方向流れ）
7．枚葉式洗浄機の流れと反応
7-1．流れの可視化観察方法と例
7-2．流れの計算
7-3．表面反応の解析例
8．バッチ式洗浄機の流れ
8-1．流れの可視化観察方法と例
8-2．ノズル設計の視点
8-3．排出設計の視点
8-4．検証方法
9．超音波洗浄
9-1. 超音波の効果と役割
9-2. 超音波の影響：水流
9-3. 超音波の影響：気泡
10．まとめ：課題解決の要点
困った時には境界層を壊せ
半導体,洗浄,枚葉式,パッチ式,洗浄機,流れ,セミナー,研修,講習会
