実務経験に基づいて、本質に迫るための試料作製と表面分析の勘所を解説!
1.SEMを使いこなし方
1-1 破断面だけの観察では情報が限られる
1-2 上(一方向)からだけの観察では本来見えるものも逃してしまう
1-3 加速電圧で見え方が全然違う
1-4 スケールの信頼性を確かめ方
2.EDS(EDX)を活用する
1-1 分析方法の得手不得手<EDSとWDS>
(主元素が目立って、微量成分は見えにくい)
1-2 得られているX線情報は表面のピンポイントからではない
1-3 定量性・マッピングの精度を上げる方法
3.EPMA(WDS/WDX)元素分析で補完
3-1 微量成分の高感度検出と定量性向上(EDSの欠点を補う)
3-2 線分析の活用<界面・境界の情報を得る>
4.分析箇所の特定と試料の鏡面研磨
4-1 観察/分析箇所(断面研磨箇所)の決定方法
4-2 分析・解析すべき試料の準備
4-3 樹脂に埋め込んで鏡面研磨
4-4 具体的研磨手順・方法
5.SEM・EDSに基づく不良対策
6.様々な解析手段活用で総合的判断
6-1 マイクロフォーカスX線透視像
6-2 超音波探傷/超音波イメージング
6-3 その他
7.解析結果からの特許出願