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1.原子層堆積法の基礎
1-1.原子層堆積法とは
1-2.原子層堆積の開発の歴史
1-3.熱ALDとプラズマALD
1-4.事例紹介
2.原子層堆積における表面反応機構
2-1.原料分子の吸着反応~ラングミュア―型解離吸着~
2-2.飽和吸着のモニタリング手法
2-3.プリカーサーの選択
2-4.吸着表面の酸化反応
2-5.酸化種の選択
2-6.酸化物表面と水の反応
2-7.酸化物表面と水素脱離
2-8.フォーミングアニールと界面層の問題
2-9.不純物モニタリング法
3.山形大学開発室温三次元成膜ALDの解説
3-1.SiO2の室温形成事例とペットボトル・アクリル樹脂コーティング
3-2.生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
3-3.Al2O3の室温形成事例
3-4.HfO2の室温形成事例
3-5.Fe2O3の室温製膜事例
3-6.アルミナシリケート薄膜の室温製膜事例とイオン吸着フィルターへの応用