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1.はじめに:表面分析で必要とされる情報
1-1.化学組成・化学結合状態、原子配列・結晶構造、電子状態、表面形態
1-2.複合計測、非破壊・実環境観察、リアルタイム計測
1-3.X線光電子分光法、オージェ電子分光法、X線発光分光法の特徴
2.X線光電子分光法の観察対象と課題
2-1.気相/固相界面(高真空下で表面分析)、液相/固相界面、固相/固相界面
2-2.試料表面清浄化、絶縁試料の帯電防止、プローブ光誘起損傷
3.X線光電子分光法の原理
3-1.X線光電子スペクトルに含まれる情報:始状態+終状態+測定装置の応答関数
3-2.化学組成の定性分析と定量分析
4.X線光電子分光法の測定装置
4-1.エネルギー分析器:完全半球型分析器/入射レンズ、円筒鏡分析器/電子銃
4-2.検出器:二次電子増倍管、チャネルトロン、マイクロチャネルプレート
4-3.光源:X線発生源、紫外線光源、放射光
5.X線光電子分光法のデータ解析
5-1.結合エネルギーの較正:Au4f準位、フェルミ準位の観察
5-2.Si酸化膜の分析:バックグラウンド処理、スピン-軌道分裂成分の処理
5-3.Ti酸化膜の分析:始状態での化学結合状態の取扱い、単純な終状態
5-4.Ni酸化膜の解析:終状態での電化移動サテライトの取扱い、単純な始状態
6.最先端X線光電子分光法の動向
6-1.分類と特徴:高性能・多機能化、測定環境の極限化
6-2.準大気圧X線光電子分光法:~1000Paでのその場観察
6-3.硬X線光電子分光法:非破壊のバルク敏感観察、表面処理が不要
7.高輝度放射光施設
7-1.世界と日本の動向
7-2.次世代放射光施設(NanoTerrace):東北大学新青葉山キャンパス
8.まとめ