★スパッタリング薄膜の原理・メカニズムを解説し、品質向上や密着性改善などの実務課題への対応方法を具体的に解説します！
【アーカイブ配信：7/1～7/5】の視聴を希望される方は、こちらからお申し込み下さい。
≪基礎編≫
1．スパッタリング法の基礎
1-1．薄膜技術の基本を知る
1-2．スパッタリング法の特徴とその用途
1-3．スパッタリング装置の構成
1-4．スパッタリング工程の運用と管理方法
2．スパッタリング法の物理現象
2-1．物理現象を把握することの重要性について
2-2．スパッタリングの物理現象1（プラズマ放電）
2-3．スパッタリングの物理現象2（スパッタリング）
2-4．スパッタリングの物理現象3（組織形成）
2-5．スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
3．スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3-1．スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3-2．あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
3-3．薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
3-4．特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
3-5．不具合現象開明のための元素・状態分析
3-6．信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
≪応用編≫
4．スパッタリング薄膜の特性安定化
4-1．特性実現と特性安定化という2つの課題
4-2．特性とパラメータの間にあるものを理解する
4-3．プロセスのばらつき・変動要因を理解する
4-4．プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
4-5．スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
5．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
5-1．薄膜の密着と剥離のメカニズム
5-2．解析～原因追究の手順
5-3．密着性改善・安定化のための具体的な手法
5-4．薄膜の信頼性の問題と対策
6．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6-1．スパッタリング薄膜の欠陥モード
6-2．スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6-3．ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6-4．変色・しわ・しみの原因究明と対策