1.はじめに
1.1 半導体パッケージの役割の変化
1.2 最近の半導体デバイス開発の動向
1.3 中間領域技術の進展による価値創出
1.4 中間領域技術による半導体デバイス性能向上
1.5 中間領域技術によるシステムレベル性能向上
1.6 中間領域技術の拡張応用
2.三次元集積化プロセス
2.1 TSV再訪(BSPDNプロセスの原点)
2.2 Wafer level hybrid bonding(CIS, NAND Flashによる市場浸透)
2.3 Logic-on-Memory Stacked chip SoC(RDL, Micro bumping, Mass reflow CoCの原点)
2.4 2.5D(Si interposer導入からHBM-Processor integrationへ)
2.5 Si bridgeの導入
2.6 CoW hybrid bondingの課題
2.7 3Dから3.5D chiplet integrationへ
2.8 RDLの微細化
3.Fan-Out型パッケージ
3.1 FOWLP開発から市場浸透の25年
3.2 材料・プロセスの選択肢拡大(Chip.First×Face.Up, Low modulus mold, Adaptive patterning)
3.3 3D Fan-Out integrationの民主化推進(InFO-POPの功罪とTMVプロセスのコストダウン)
3.4 Panel Level Process(現状とプロセス高品位化の課題)
3.5 パワーデバイスへの応用
4.今後の開発動向
4.1 Co-Packaged Opticsの話題
4.2 Glass interposer/substrateの話題とTGVプロセスの課題
4.3 パワーデバイスの放熱問題とFOWLP化の話題
4.4 先進パッケージの市場概況
5.Q&A