3次元半導体集積化プロセスの基礎とその技術動向、今後の展望【WEBセミナー】
異種機能デバイスチップ集積によるシステムレベルの高性能化、多機能化に向けて

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セミナー概要
略称
3次元集積化【WEBセミナー】
セミナーNo.
st240920
開催日時
2024年09月27日(金) 10:30~16:30
主催
サイエンス&テクノロジー(株)
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
価格
非会員: 41,800円(税込)
会員: 39,820円(税込)
学生: 41,800円(税込)
価格関連備考
定 価 :1名につき 41,800円(税込)
会員価格:1名につき 39,820円 2名の場合 55,000円、3名の場合 82,500円(税込)

※上記会員価格は受講者全員の会員登録が必須となります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※他の割引は併用できません。
※請求書は主催会社より代表者のメールアドレスにご連絡いたします。
備考
※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

【ライブ配信(Zoom使用)セミナー】
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
 PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
・お申し込み後、接続確認用URL(https://zoom.us/test)にアクセスして接続できるか等ご確認下さい。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
講座の内容
趣旨
 米国では”CHIPS for America”の下、TSMC、Samsungのメガファブ誘致やIntel、Micronの生産増強支援に加えて、”National Advanced Packaging Manufacturing Program”によるパッケージ工程の国内生産回帰と開発強化の動きが顕在化しています。SK HynixはAI覇権を握るHBMの先端パッケージ生産拠点をインディアナ州に建設することを4月に発表しました。
 あらゆる産業に浸透するAIの認知深化は新たな情報サービス市場を創出しつつある一方、循環型経済へ移行する社会構造の変化が求められる中で、電子機器、エネルギー機器の低消費電力化は必至です。貪欲な市場は先端微細化によるチップレベルの性能向上だけでなく、パッケージの高品位化によるシステムレベルのモジュール性能向上を要求していますが、先進パッケージの民主化の推進は非先端デバイスによる新たな市場を創出しつつあります。
 日本では半導体産業を取り巻く地政学的な議論が喧しく、本来為すべき地道な産業基盤強化の深耕不足を憂慮する声も一部の有識者から聞こえています。本セミナーでは、半導体チップの三次元集積化技術を中心に、開発推移の整理、基礎プロセスの再訪、先進パッケージの現状と今後の展望に言及します。
プログラム

1.はじめに
 1.1 半導体パッケージの役割の変化
 1.2 最近の半導体デバイス開発の動向
 1.3 中間領域技術の進展による価値創出
 1.4 中間領域技術による半導体デバイス性能向上
 1.5 中間領域技術によるシステムレベル性能向上
 1.6 中間領域技術の拡張応用

2.三次元集積化プロセス
 2.1 TSV再訪(BSPDNプロセスの原点)
 2.2 Wafer level hybrid bonding(CIS, NAND Flashによる市場浸透)
 2.3 Logic-on-Memory Stacked chip SoC(RDL, Micro bumping, Mass reflow CoCの原点)
 2.4 2.5D(Si interposer導入からHBM-Processor integrationへ)
 2.5 Si bridgeの導入
 2.6 CoW hybrid bondingの課題
 2.7 3Dから3.5D chiplet integrationへ
 2.8 RDLの微細化

3.Fan-Out型パッケージ
 3.1 FOWLP開発から市場浸透の25年
 3.2 材料・プロセスの選択肢拡大(Chip.First×Face.Up, Low modulus mold, Adaptive patterning)
 3.3 3D Fan-Out integrationの民主化推進(InFO-POPの功罪とTMVプロセスのコストダウン)
 3.4 Panel Level Process(現状とプロセス高品位化の課題)
 3.5 パワーデバイスへの応用

4.今後の開発動向
 4.1 Co-Packaged Opticsの話題
 4.2 Glass interposer/substrateの話題とTGVプロセスの課題
 4.3 パワーデバイスの放熱問題とFOWLP化の話題
 4.4 先進パッケージの市場概況

5.Q&A

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