普段おざなりにしがちな真空成膜技術の原理から、装置の運転・保守の落とし穴までを徹底再確認
PVD、真空蒸着、ALD、CVDなどなど、成膜手段を問わず、成膜装置の背景にある物理をしっかり理解して
根本的なトラブル・失敗からは卒業するための１講
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１．基礎の無理解とブラックボックス化が起こす成膜絡みの大事故！
1.1 成膜作業が絡む大事故例
1.2 リスクマネジメントとハインリッヒの法則
２．成膜と真空の密な関係
2.1 成膜は目的、良い真空はその手段の１つ
2.2 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？
2.3 そもそも良い真空とはどんなものか？
2.4 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない!!
３．無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学を1時間で復習！
3.1 気体分子運動論と気体の性質
3.2 気体の流れと真空排気
3.3 真空排気の理想と現実
４．これだけは抑えたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ!!
4.1 成膜のおける重要な鍵
4.2 原料物質(粒子)への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
4.3 成膜の素過程
4.4 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い？ 沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
4.5 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
4.6 薄膜の育ち方とその条件
4.7 こんなにある薄膜の評価法
５．成膜装置におけるトラブル事例と解決法
5.1 デタラメな機械加工や接合にダマされるな
5.2 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
5.3 絶対避けたい擬似リーク
5.4 オイルフリー排気系の落とし穴
5.5 成膜法に依っては必須のベーキング
5.6 吸っても安全な成膜原料ガスは１つもない！
5.7 成膜原料は純度が命
5.8 その真空部品は汚染源になっていない？ 汚染ガスとダストパーティクルの発生源を潰そう
5.9 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
5.10 全圧計だけでは不十分！ 残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り
5.11 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
5.12 スパッタリング収率を理解して不純物を避け、装置も長生き
5.13 成膜真空容器に鎧を付けよう
5.14 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方
5.15 最近、話題のHiPIMS
6．まとめと質疑応答