2013年04月16日（火）
10:30～16:30
Tel：03-5857-4811 E-mail：info@rdsc.co.jp
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非会員：
52,360円
（本体価格：47,600円）
会員：
49,500円
（本体価格：45,000円）
学生：
11,000円
（本体価格：10,000円）
・1名につき47,250円（税込、資料付き）
※大学生、教員のご参加は、1名に付き受講料10,500円です。（ただし、企業に在籍されている研究員の方は除きます。）
・2名同時にお申し込みいただいた場合、2人目は無料（2名で49,980円）※ただし、2名とも案内登録をしていただいた場合に限ります。
30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
半導体、液晶製造等のクリーンルームにおいて、 静電気帯電による塵埃の吸着や静電気放電による電気回路パターンの損傷等の静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。
本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体、液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その静電気対策の一つとして、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。更に、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。静電気の基礎から最新のクリーンルーム用イオナイザーまで平易に説明する。
イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者がイオナイザーを使用する際に、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法が分かるように配慮して説明する。
１．はじめに
２．静電気の基礎
2-1 動電気と静電気
2-2 物質は電気エネルギーを持つ
2-3 静電気はこうして現れる
（１）静電気発生
（２）静電気発生機構
（３）発生の原因
（４）静電誘導
（５）帯電列
３．半導体、液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害
3-1 静電気帯電の実態
3-2 静電気障害
3-2-1 静電気帯電による静電気障害 浮遊微粒子汚染
3-2-2 静電気放電による静電気障害 静電破壊
４．半導体、液晶製造等のクリーンルームにおける静電気対策
4-1 静電気対策の方法
4-1-1 接地により静電荷を散逸させる方法
4-1-2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
4-2 イオナイザーの除電原理
4-3 イオナイザーの種類と特徴
4-4 イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
4-4-1 イオナイザーの選定方法
4-4-2 イオナイザーの使用上の注意点
4-5 イオナイザーの除電性能の評価方法
4-5-1 有効除電電流による性能評価
4-5-2 帯電プレートモニタによる性能評価
4-6 クリーンルーム用イオナイザー
4-6-1 クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
4-6-2 シースエア式低発塵イオナイザー（コロナ放電式）
4-6-3 イオン化気流放出型イオナイザー（軟Ｘ線照射式）
（１）液晶 カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
（２）チャンバー型無発塵イオナイザー
（３）静電気対策用層流吹出口
（４）防爆型無発塵イオナイザー
4-6-4 静電気対策の実施例
５．おわりに
［質疑応答・名刺交換］
