2014年02月20日（木）
10:30～16:30
Tel：03-5857-4811 E-mail：info@rdsc.co.jp
問い合わせフォーム
非会員：
52,360円
（本体価格：47,600円）
会員：
49,500円
（本体価格：45,000円）
学生：
11,000円
（本体価格：10,000円）
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,980円（税込）から
★1名様申込の場合、47,250円（税込）へ割引になります。
★2名様同時申込の場合、2人目無料（2名で49,980円）になります。
学校関係者価格は、企業に在籍されている研究員の方には適用されません。
30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
精密洗浄の効果的プロセス構築に役立つ洗浄剤や洗浄手法の知識および洗浄評価のための簡易評価法や各種汚れの残存量の測定法。
高機能な精密製品の製造における加工や処理において、表面のきれいさが歩留まりに大きく影響するため効果的に汚れの除去をおこなう洗浄は重要な「モノづくり」技術の一つになっている。洗浄に従事する技術者が被洗浄物の適切かつ効果的な洗浄プロセスを構築したり、あるいは取り組んでいる洗浄におけるトラブルを解決するには精密洗浄の基礎知識を理解し、被洗浄物や汚れに適合した洗浄剤や洗浄手法を選択できることが必要である。また選択した方法や条件が要求を満足するかどうかを評価するには、洗浄後の残存汚れを適切な分析方法で定量して確認することが必要である。
本講ではそうしたことに役立つ技術知識を解説する。
１．工業洗浄の目的と目標
１．１ 工業洗浄の目的
１．２ 汚れによって起こる障害例
１．３ 要求表面清浄度
２．洗浄対象としての汚れ
２．１ 汚れの分類と具体例
２．２ 汚染現象
２．３ 汚れの付着形態
２．４ 汚れの付着力（ファンデルワールス力）
２．５ 汚れ付着の経時変化
３．汚れの除去メカニズム
３．１ 洗浄液による溶解、可溶化
３．２ 汚れの酸化、分解
３．３ 固体表面のエッチング
３．４ 物理的作用力による剥離
３．５ 気泡界面への汚れ吸着
４．汚れ再付着の抑制
４．１ ゼータ電位制御
５．洗浄剤の種類と特徴
５．１ 洗浄剤の分類
５．２ 水系洗浄剤
（１）アルカリ洗浄剤
（２）中性洗浄剤
（３）酸性洗浄剤
（４）機能水（電解イオン水、ガス溶解水）
５．３ 非水系洗浄剤
（１）可燃性洗浄剤（炭化水素溶剤、アルコールなど）
（２）不燃性洗浄剤（塩素系、フッ素系溶剤）
５．４ 準水系洗浄剤
６．洗浄法各論
６．１ 湿式洗浄法
（１）ブラシ洗浄法
（２）噴射洗浄法
（３）二流体噴射洗浄法
（４）超音波洗浄法
（５）マイクロバブル洗浄法
（６）機械振動撹拌洗浄法
（７）真空（圧力スイング）洗浄法
６．２ 乾式洗浄法
（１）光洗浄法
（２）大気圧プラズマ洗浄法
（３）ドライアイス洗浄法
（４）極低温エアロゾル噴射洗浄法
（５）パルスレーザー洗浄法
（６）超臨界炭酸ガス流体洗浄法
７．リンスと乾燥
７．１ リンスの要点
７．２ 各種乾燥法
（１）スピン乾燥法
（２）蒸気乾燥法
（３）マランゴニ乾燥法
（４）真空乾燥法
８．洗浄評価の目的
８．１ 洗浄評価の目的
８．２ 洗浄効果の評価
９．簡易洗浄評価法
（１）目視検査
（２）顕微鏡検査
（３）水ぬれテスト
（４）接触角測定
（５）その他の方法
１０．付着粒子計数法
（１）顕微鏡法
（２）光散乱法
（３）洗浄採取液中粒子数測定法
１１．有機汚れの定量法
１１．１ 溶媒抽出紫外吸光度測定法
１１．２ 加熱脱着によるガスクロマトグラフ法
１１．３ 多重反射赤外吸収測定法
１１．４ オージェ電子・光電子分光法
１２．金属汚れの定量法
１２．１ 汚れ試料採取法
１２．２ フレームレス原子吸光法
１２．３ 誘導結合プラズマ質量分析法
１２．４ 全反射蛍光X線分析法
１２．５ 二次イオン質量分析法
（１）ダイナミックSIMS
（２）TOF-SIMS
１３．イオン汚れの定量法
１３．１ 試料採取法
１３．２ イオンクロマトグラフ法
【質疑応答・名刺交換】
