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★EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについても解説します！

EUVレジストの特性と評価および要素技術の開発動向【LIVE配信】

【アーカイブ配信：8/8～8/31（何度でも受講可能）】の視聴を希望される方は、こちらからお申し込み下さい。

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
EUVレジスト【WEBセミナー】
セミナーNo.
220840
開催日時
2022年08月04日（木） 13:00～16:00
主催
（株）Ｒ＆Ｄ支援センター
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　
価格
非会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
会員：  39,600円 （本体価格：36,000円）
学生：  49,500円 （本体価格：45,000円）
価格関連備考
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
　・1名で申込の場合、39,600円（税込）へ割引になります。
　・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。
会員登録とは？　⇒　よくある質問
定員
30名　※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーです。

・セミナー資料は事前にPDFでお送りします。
セミナー資料の無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。


【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧下さい。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

【アーカイブ配信：8/8～8/31（何度でも受講可能）】の視聴を希望される方は、こちらからお申し込み下さい。
講座の内容
習得できる知識
EUVリソグラフィーの基礎知識
EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
EUVフォトプロセスの評価方法の習得
　
趣旨
　EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
　
プログラム

1．EUVLの概要
　1.1　EUVLの概要
　1.2　EUVL用レジスト

2．アウトガス評価技術
　2.1　EUVLレジストのアウトガス評価方法
　2.2　EUVLレジストのアウトガス評価装置

3．EUVレジストの評価技術
　3.1　EUV透過率測定
　3.2　ナノパーティクル添加レジストの高感度化
　3.3　屈折率nk測定
　3.4　EUV2光束干渉露光

4．EUVメタルレジストの評価技術
　4.1　メタルレジストの概要
　4.2　EUVメタルレジストのアウトガス分析
　4.3　EUVメタルレジストの問題点

5．EUVフォトレジストと電子線レジストの感度

スケジュール
13:00-14:40 講義
14:25-14:35 休憩
14:35-16:00 講義

※講義の進行状況により多少前後いたします。
キーワード
EUV、レジスト、リソグラフィー、アウトガス、評価、フォト、メタル、
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