EUVレジストの特性と評価および要素技術の開発動向【アーカイブ配信】

セミナー概要

略称

EUVレジスト【アーカイブ配信】

セミナーNo.

220840A

配信開始日

2022年08月08日（月）

配信終了日

2022年08月31日（水）

主催

（株）Ｒ＆Ｄ支援センター

問い合わせ

Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム

価格

非会員： 49,500円（本体価格：45,000円）
会員： 39,600円（本体価格：36,000円）
学生： 49,500円（本体価格：45,000円）

価格関連備考

会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
　・1名で申込の場合、39,600円（税込）へ割引になります。
　・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。
会員登録とは？　⇒　よくある質問

備考

・こちらは8/4実施WEBセミナーのアーカイブ（録画）配信です。

・配信開始日までに、セミナー資料は郵送します。職場以外での受け取りを希望される場合はご住所をお知らせ下さい。セミナー資料の無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

・動画のURLはメールでお送りします。

講座の内容

習得できる知識

EUVリソグラフィーの基礎知識
EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
EUVフォトプロセスの評価方法の習得
　

趣旨

　EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
　

プログラム

1．EUVLの概要
　1.1　EUVLの概要
　1.2　EUVL用レジスト

2．アウトガス評価技術
　2.1　EUVLレジストのアウトガス評価方法
　2.2　EUVLレジストのアウトガス評価装置

3．EUVレジストの評価技術
　3.1　EUV透過率測定
　3.2　ナノパーティクル添加レジストの高感度化
　3.3　屈折率nk測定
　3.4　EUV2光束干渉露光

4．EUVメタルレジストの評価技術
　4.1　メタルレジストの概要
　4.2　EUVメタルレジストのアウトガス分析
　4.3　EUVメタルレジストの問題点

5．EUVフォトレジストと電子線レジストの感度

キーワード

EUV、レジスト、リソグラフィー、アウトガス、評価、フォト、メタル

EUVレジストの特性と評価および要素技術の開発動向【アーカイブ配信】

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要

講座の内容

関連するセミナー

関連する書籍

関連するDVD

関連するタグ

EUVレジストの特性と評価および要素技術の開発動向【アーカイブ配信】

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要

講座の内容

関連するセミナー

関連する書籍

関連するDVD

関連するタグ

フリーワード検索

カテゴリ別検索

カテゴリ別検索