☆材料の表面改質、殺菌処理から半導体プロセス、医療機器、食品分野まで、幅広い用途展開が期待される大気圧プラズマを徹底解剖!
※こちらは3/28実施WEBセミナーのアーカイブ(録画)配信です。配信期間中(4/1~4/8)は、いつでも何度でも視聴できます!
1.大気圧プラズマの基礎
1-1.なぜ大気圧プラズマ?
1-2.プラズマの特長
1-3.大気圧プラズマの生成法
1-4.プラズマ中の原子・分子過程
1-5.プラズマの物理
2.大気圧高温プラズマと応用
2-1.大気圧高温プラズマ
2-2.ガス分解処理
2-3.半導体表面処理
3.大気圧低温プラズマ
3-1.低温プラズマとは
3-2.リモートプラズマ
3-3.マルチガスプラズマ
3-4.プラズマガス種と生成される活性種
3-5.温度制御プラズマ
3-6.クリーンルーム対応パーティクルフリープラズマ
4.大気圧低温プラズマの応用例
4-1.表面処理(接着前処理,酸化膜還元,コーティング等)への応用
4-2.殺菌・美容・医療・農業分野への応用
4-3.環境浄化・分析への応用
4-4.プラズマとバブル,超音波,紫外線,赤外線等のハイブリッド処理
5.大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望