※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
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1. はじめに
1-1 ダイヤモンドの物理特性と半導体パワーデバイスとしてのポテンシャル
1-2 ダイヤモンド半導体研究の歴史
2. ダイヤモンド半導体結晶の作製技術
2-1 ダイヤモンド単結晶成長技術(高温高圧合成法等)
2-2 ダイヤモンド薄膜結晶成長(ホモエピ、ヘテロエピ成長)
2-3 ダイヤモンド半導体のドーピング技術(in-situドープ、イオン注入等)
2-4 ダイヤモンド終端面と伝導特性制御
3. ダイヤモンド半導体パワーデバイス作製技術
3-1 ダイヤモンドショットキーダイオード
3-2 ダイヤモンドPNダイオード
3-3 ダイヤモンド電界効果トランジスタ(FET)
3-4 その他のダイヤモンドデバイス(バイポーラトランジスタ等)
4. まとめ
4-1 ダイヤモンドパワーデバイスの課題
4-2 今後の展望