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1.背景:マイクロLEDの特徴、アプリケーション
2.現在のマイクロLED技術の課題と開発の状況
2-1 チップサイズ縮小に伴う諸問題
内部量子効率の低下、光取出し効率、配光制御(指向性)
2-2 低コスト、高速実装問題
2-3 赤色波長帯における効率低下
2-4 緑・赤色チップの波長シフト問題
3.エバネッセント光の結合効果を利用した指向性マイクロLED
3-1 エバネッセント光の結合効果
3-2 指向性マイクロLEDの提案
3-3 InGaAs/GaAsリッジ型LEDによる実証
4.GaN指向性マイクロLEDの理論的検討
4-1 構造の最適化、発光効率(光取出し効率)の見積
4-2 ディスプレイ輝度の試算
4-3 RGBモノリシック集積の可能性
5.GaN指向性マイクロLEDの実現に向けて
5-1 選択成長方式
5-2 トップダウン方式、低損傷プラズマエッチング技術
5-3 準大気圧プラズマMOCVDによる高効率赤色LED実現の可能性
6. まとめ