ロール・ツー・ロールを構築・運用していく上で基本的な考え方と問題点、その対処法を伝授
1.プラスチックへの成膜技術
1.1 プラスチックへの成膜技術が拓く世界
1.2 プラスチックと無機材料
1.3 プラスチック基板への成膜技術~成膜法の種類と特徴・長所/短所
1.3.1 ドライコーティング
1.3.2 ウェットコーティング
2.ロール・ツー・ロールの概要
2.1 ロール・ツー・ロールによる成膜とは
2.2 ロール・ツー・ロールのメリット、デメリット
3.ロール・ツー・ロールプロセス構築の要点と問題点
3.1 ロール・ツー・ロールプロセスの構築の要点
3.2 膜形成プロセスと基本パラメタ制御
3.3 大面積基板への拡張
3.4 付着力の改善
4.ロール・ツー・ロール成膜要素技術
4.1 巾方向・流れ方向の膜厚、組成、構造の均一性制御
4.2 基板への熱流解析
4.3 成膜中のフィルム挙動,熱負け制御
5.ロール・ツー・ロールプロセス運用時のトラブル対策
5.1 成膜シミュレーション技術
5.2 カソードおよびターゲット設計
5.3 成膜速度の限界、コスト、収率
5.4 欠陥(膜外観や膜無し部分)の発生対策
5.5 インライン測定による検査
5.6 シワ
5.7 巻き取り
□ 質疑応答 □