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~製作工程、設計・評価技術、各分野への応用など~

MEMS技術の基礎から応用・トレンドまで

MEMSの基礎から製作技術、自動車・センサ・医療等の応用のトレンド、有効活用のヒントまで詳しく解説します!
これからMEMS技術を扱う方から、各分野のトレンドを把握されたい方まで幅広くご参加いただけます。

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要

略称
MEMS
セミナーNo.
st180424  
開催日時
2018年04月27日(金)10:30~16:30
主催
サイエンス&テクノロジー(株)
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
きゅりあん 4F  研修室
価格
非会員: 48,600円(税込)
会員: 46,170円(税込)
学生: 48,600円(税込)
価格関連備考
48,600円 (会員受講料 46,170円 )
定価:本体45,000円+税3,600円
会員:本体42,750円+税3,420円
【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン!(1名あたり定価半額の24,300円)】
 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で追加受講できます。
 ※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
  (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
 ※他の割引は併用できません。
備考
※資料・昼食付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。

講座の内容

受講対象・レベル
センサなどのシステム部品、IoTなどに関わる技術者等
習得できる知識
・MEMSの概要・特徴・トレンド
・MEMSの製作技術
・センサなどとしての要素技術
・応用
・オープンコラボレーションによる開発の効率化
趣旨
 フォトリソグラフィを基本とした微細加工技術は集積回路の製作に用いられるが、このフォトリソグラフィを基本にした立体的微細加工技術は「マイクロマシーニング」と呼ばれる。この技術を用いるとシリコン基板などにセンサ・回路・アクチュエータあるいは微細構造体のようないろいろな要素を集積化した、高度な働きをする小形システムを実現することができる。このような小形システムは「MEMS (Micro ElectroMechanical Systems)」あるいは「マイクロシステム」と呼ばれ、情報機器周辺をはじめとする広い分野で、システムの鍵を握る重要な要素として用いられる。
 この技術では、小形化、一括組立・集積化などが特徴で、高付加価値の小形部品を大量に安価で供給できる。電子工学、機械工学、光工学、材料科学などのさまざまな分野の技術を融合し、情報・通信、運輸・家電、製造・計測、医療・バイオ、環境・防災などの幅広い分野に応用されている。多様で標準化しにくいために開発がボトルネックになっており、それを工夫して、この技術を有効活用する道についても述べる。
プログラム
1.MEMSの基礎・製作工程・要素
 1.1 マイクロマシーニングとMEMS
 1.2 MEMSの製作工程と設計評価
  1.2.1 パターニング
  1.2.2 エッチング
  1.2.3 堆積と応力制御
  1.2.4 接合
  1.2.5 複合プロセスと表面マイクロマシーニング
  1.2.6 集積化
  1.2.7 パッケージングと組立
  1.2.8 設計・評価
 1.3 MEMSの要素
  1.3.1 センサ
  1.3.2 アクチュエータ
  1.3.3 エネルギー源―MEMSによる高機能化

2.MEMSの応用
 2.1 自動車への応用
 2.2 ヘテロ集積化 (MEMSとLSIの融合)と次世代携帯機器
 2.3 センサネットワーク・高機能センサ
 2.4 光マイクロシステム
 2.5 バイオ・医療用マイクロシステム
 2.6 製造・検査装置
 2.7 高度化と有効活用への道

□質疑応答・名刺交換□
 

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