本セミナーでは、これまでの先進パッケージ開発の経緯を整理し、半導体デバイスチップの三次元集積化プロセス、Fan-Out型パッケージの基礎を再訪しながら、今後の開発動向と市場動向を展望します。
1.半導体パッケージの役割の変化
1.1 デバイスチップ性能向上とシステムレベル性能向上
1.2 中間領域プロセス技術の進展による価値創出
1.3 CoWoS, SoW-XとWafer Scale Integration
1.4 チップレットインテグレーション市場の開拓
2.三次元集積化プロセスの基礎
2.1 ロジックとメモリのチップ積層SoCデバイス (RDL, Micro-bumping, Mass reflow積層の導入)
2.2 TSVプロセス (CISカメラモジュール, メモリチップ積層からBSPDNへ拡張)
2.3 Hybrid-Bonding (Wafer level/Chip on Wafer bonding, Polymer bonding)
2.4 Si/有機インタポーザー, Siブリッジ (インテグレーション規模の拡大)
2.5 RDL微細化と多層化(SAPからダマシンプロセスの導入へ)
3.Fan-Out(FO)型パッケージの基礎
3.1 市場浸透の現状
3.2 FOプロセスの留意点
3.3 モールド樹脂材料の選択
3.4 3D FOインテグレーション(TMIプロセス選択肢の拡大)
4.Panel Level Process(PLP)高品位化
4.1 モールド樹脂起因の基板反り問題
4.2 マスクレス露光によるレティクルサイズ制約からの解放
4.3 PLP装置開発
5.最近の話題と課題
5.1 どうするGlassインタポ-ザ/基板, どうなるCo-Packaged Optics
5.2 HBM支配構造は続くのか?
5.3 今後の市場動向を見る視点
6.Q&A