半導体の微細化・高集積化の限界突破のために期待されている二次元物質。
次世代半導体材料として注目されるグラフェンおよび遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)を中心に、二次元物質の物性、半導体集積回路への応用とその利点、今後の課題、さらにはその他の電子デバイスへの応用の可能性について解説します。
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1.はじめに
1.1 自己紹介
1.2 講演の概要
2.2次元物質とは?
2.1 薄膜材料
2.2 グラフェンの登場と熱狂
2.3 どう作るか?
2.4 グラフェンの"バンドギャップ"問題
2.5 原子薄膜半導体の登場
2.6 遷移金属ダイカルコゲナイドの半導体物性
3.半導体集積回路の課題と2次元物質
3.1 集積回路技術の発展
3.2 スケーリング則とその破綻
3.3 チャネルの薄膜化と立体化
3.4 2次元物質の応用とその利点
3.5 2次元物質の今後の課題
4.種々の電子デバイスへの応用
4.1 グラフェンの応用
4.2 原子薄膜半導体の応用
4.3 最近の研究紹介
5.まとめ
□ 質疑応答 □