圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向
【LIVE配信】
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。

セミナー概要
略称
圧電MEMS【WEBセミナー】
セミナーNo.
開催日時
2021年04月28日(水) 13:00~17:00
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
講師
神戸大学 工学研究科機械工学専攻 教授 博士(工学) 神野 伊策 氏
価格
非会員:  49,500円 (本体価格:45,000円)
会員:  46,200円 (本体価格:42,000円)
学生:  49,500円 (本体価格:45,000円)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円(税込)から
 ★1名で申込の場合、46,200円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円(2人目無料)です。
■会員登録とは? ⇒ よくある質問
■学校関係者価格は、企業に在籍されている研究員の方には適用されません。
 また、当日学生証をご持参ください。
備考
資料付

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、こちら からミーティング用Zoomクライアントを
  ダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたに
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3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始
  10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加
  ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
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講座の内容
習得できる知識
・PZT圧電薄膜のスパッタ成膜技術
・圧電薄膜の結晶構造および電気特性評価
・薄膜材料の圧電定数評価法
・ユニモルフ素子構造の設計
趣旨
 圧電薄膜を用いたMEMS技術について,その特徴と実用化に向けた現在の開発状況,また圧電薄膜およびその評価技術に関する基礎について解説する.
 圧電材料の有する優れた電気機械変換効果は,マイクロデバイス化することによりその特徴を更に引き出すことができる.現在はシンプルな構成のデバイスが実用においても主流となっているが,今後従来のMEMSで蓄積された微細構造と融合することによって新しい技術展開が期待される.
 本講義では圧電薄膜材料に加え,応用デバイスの基礎となるユニモルフ構造について取り上げ,設計の基礎となる力学的特徴について説明する.
 
プログラム
1.圧電MEMS技術の概要
 1-1.MEMS技術とその応用
 1-2.PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス

2.圧電MEMSの要素技術
 2-1.圧電材料とその特徴
 2-2.薄膜化プロセス

3.薄膜材料の圧電特性評価

4.ユニモルフカンチレバーの力学

5.まとめ
キーワード
圧電,薄膜,MEMS,特性,評価,ユニモルフカンチレバー,力学,マイクロデバイス,セミナー
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