1.圧電MEMS技術の概要 1-1.MEMS技術とその応用 1-2.PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス 2.圧電MEMSの要素技術 2-1.圧電材料とその特徴 2-2.薄膜化プロセス 3.薄膜材料の圧電特性評価 4.ユニモルフカンチレバーの力学 5.まとめ